[实用新型]一种连续性水平浸渍镀膜系统

权利要求书

1.一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述连续式水平浸渍镀膜系统包括机器人、机器人控制中心和循环滑轨，机器人与机器人控制中心信号连接，所述机器人滑动式设置在循环滑轨上，循环滑轨用于机器人循环滑动；所述机器人设有操作臂，所述操作臂前端设置数个用于吸附衬底基片的吸盘，机器人带动操作臂动作；循环滑轨侧旁设置有镀膜溶液槽和清洗槽。

2.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述连续式水平浸渍镀膜系统还包括衬底基片预清洗及定位系统。

3.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述连续式水平浸渍镀膜系统还包括干燥系统，所述干燥系统设置在循环滑轨侧旁。

4.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述机器人的数量至少为一台。

5.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述镀膜溶液槽的水平截面大于衬底基片的面积；所述清洗槽的水平截面大于衬底基片的面积。

6.根据权利要求1所述的一种连续性水平浸渍镀膜系统，其特征在于：所述衬底基片为硬质衬底，或沉积有功能薄膜的硬质衬底。