[实用新型]用于激光源系统的电子束扫描控制电路

权利要求书

1.一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，所述的激光源系统包括：

电子枪和VCSEL芯片封装体，包括电子枪和VCSEL芯片；

聚焦线圈，安装在电子枪和VCSEL芯片封装体外部；

偏转线圈，安装在电子枪和VCSEL芯片封装体外部；

其特征在于，所述的电子束扫描控制电路包括：

微控制器，与电子枪连接；

扫描控制单元，分别与聚焦线圈和偏转线圈连接；

中央处理器单元CPU，分别与微控制器、扫描控制单元连接；

人机界面，与CPU连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，所述的电子枪为三级式交叉枪，包括发射电子的阴极、G1栅极、G2加速极和G3电子聚焦极。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，所述的VCSEL芯片底部粘合有导热的衬底。

4.根据权利要求3所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，还包括分别与CPU、衬底连接的VCSEL半导体温度控制电路。

5.根据权利要求1所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，还包括分别与扫描控制单元、聚焦线圈和偏转线圈连接的输出驱动和放大电路。

6.根据权利要求1所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，还包括聚焦与偏转线圈电流检测电路，该聚焦与偏转线圈电流检测电路分别与CPU、聚焦线圈和偏转线圈连接。

7.根据权利要求5所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，所述的聚焦线圈包括静态聚焦线圈和动态聚焦线圈，所述的偏转线圈包括行偏转线圈和场偏转线圈，所述的扫描控制单元包括：

静态聚焦线圈电源，分别与CPU、静态聚焦线圈连接；

扫描控制电路，与CPU连接；

场偏转线圈驱动电路，分别与扫描控制电路、场偏转线圈连接；

行偏转线圈驱动电路，分别与扫描控制电路、行偏转线圈连接；

动态聚焦线圈驱动电路，分别与行偏转线圈、放大电路连接，其中放大电路与动态聚焦线圈连接。

8.根据权利要求7所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，所述的场偏转线圈驱动电路包括依次连接第一预激励电路、功率输出电路，所述的第一预激励电路与扫描控制电路连接，所述的功率输出电路与场偏转线圈连接。

9.根据权利要求7所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，所述的行偏转线圈驱动电路包括第二预激励电路、行扫描输出电路、时序电路和电子枪电子束消隐电路，所述的扫描控制电路分别与第二预激励电路、行扫描输出电路、时序电路连接，所述的行扫描输出电路分别与第二预激励电路、行偏转线圈连接，所述的行偏转线圈和时序电路分别与电子枪电子束消隐电路连接。

10.根据权利要求9所述的一种用于激光源系统的电子束扫描控制电路，其特征在于，所述的动态聚焦线圈驱动电路包括依次连接的行偏转线圈扫描波形采样电路、动态校正信号产生电路，所述的行偏转线圈扫描波形采样电路与行偏转线圈连接，所述的动态校正信号产生电路与放大电路连接。