[实用新型]一种喷溅装置的主轴机构有效
| 申请号： | 201520378634.0 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204730730U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 刘剑卿;陈倩 | 申请（专利权）人： | 江苏环球龙圣环境科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F28F25/06 | 分类号： | F28F25/06;F16C3/02 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 徐琳淞 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 喷溅 装置 主轴 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种喷溅装置的主轴机构，其特征在于：包括主轴(1)、轴承(2)和橡胶垫圈(3)；所述主轴(1)的顶部设有圆形挡板(11)；所述轴承(2)的内圈套在主轴(1)上，并靠近圆形挡板(11)；所述轴承(2)的外面支撑在橡胶垫圈(3)上。
2.根据权利要求1所述的一种喷溅装置的主轴机构，其特征在于：所述主轴(1)的上部设有销孔(12)。
3.根据权利要求1所述的一种喷溅装置的主轴机构，其特征在于：还包括短管(4)和管帽(5)；所述轴承(2)和橡胶垫圈(3)设置在短管(4)内；所述短管(4)设有外螺纹，管帽(5)设有与之螺纹连接的内螺纹。
4.根据权利要求3所述的一种喷溅装置的主轴机构，其特征在于：所述短管(4)一体式设置在喷溅装置的蜗壳上。
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