[实用新型]一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件

权利要求书

1.一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：包括有平行平板镜堆、直角棱镜堆和半导体激光器；所述半导体激光器发射的激光束射入平行平板镜堆后对光束进行分割，分割后的光束射入直角棱镜堆，经过直角棱镜的直角面的反射后对光束进行重排。

2.根据权利要求1所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板镜堆由N片高度不同的平行平板镜组成；所述平行平板镜的截面形状为夹角45°的平行四边形。

3.根据权利要求1所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述直角棱镜堆由N片形状相同的直角棱镜错位堆叠组成。

4.根据权利要求1所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板镜堆的平行平板镜的数量N等于入射光源慢轴光束质量除以快轴光束质量的平方根。

5.根据权利要求2所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板镜堆中高度最低的平行平板镜沿Y方向高度应大于入射光斑Y方向高度的两倍，相邻平行平板镜沿Y方向高度差等于入射光斑在Y方向高度，其误差不超过±10μm。

6.根据权利要求2所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述平行平板镜堆中N片平行平板镜沿X方向的宽度应等于L/N,其中L为入射光源在X方向的宽度，沿Z方向的长度应大于入射光斑在Y方向高度，其误差不超过±10μm。

7.根据权利要求3所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述直角棱镜沿Y方向的厚度等于入射光源在Y方向的高度，直角边的长度大于入射光源在X方向宽度的N倍。

8.根据权利要求3所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：所述N片直角棱镜沿Y方向紧密排布，沿X方向依次错位的距离等于L/N,其中L为入射光源在X方向的宽度，其误差不超过±10μm。

9.根据权利要求1所述的一种基于全反射的半导体激光器光束分割重排器件，其特征是：直角棱镜堆的斜边和平行平板镜堆的出光面应紧密接触，并保证经过平行平板镜堆分割后的光斑和各片直角棱镜依次对应。