[实用新型]分光棱镜波片移相干涉系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种利用空间移相干涉测量技术进行测试的分光棱镜波片移相干涉系统，属于干涉仪领域。

背景技术

移相干涉术是以光波波长为单位的非接触式测量技术，具有极高的测量精度和灵敏度，被认为是检测精密元件的最准确技术之一。早在200多年前，人们就注意到了了光的干涉现象，并开始有计划的控制干涉现象。但是直到1960年第一台红宝石激光器的研制成功，干涉现象才开始广泛应用于测量领域。传统的干涉测量技术主要是通过照相或人眼直接观察干涉条纹，手工计算测量结果的方式进行的，效率低下，主观误差较大。1974年Bruning等人首次将通讯领域中的相位探测技术引入到光学测量中，使经典的干涉测量技术从微米级跨入纳米级，实现光学计量测试的重大突破。80年代以来，随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术在光学测试中的逐步应用，移相干涉技术得到进一步发展，实现了实时、快速、多参数、自动化的测量。

时间移相是在不同时刻引入有序相移并记录多幅干涉图，并通过不同的算法得出待测的相位分布。而时间移相法是通过探测器在同一空间位置不同时刻采集，得到不同相移的干涉图，此方法对作用于被测元件的振动非常敏感，因此只适用于静态或准静态位相的测量，不能用于动态测量。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。

本实用新型提供了一种分光棱镜波片移相干涉系统，主要包括光源、多个半反半透镜、多个反射镜、多个探测器和多个波片，其中，每个探测器对应一个波片，多个探测器之间并列平行设置，多个波片也并列平行设置，所述多个半反半透镜包括第一半反半透镜、第二半反半透镜和第三半反半透镜，所述多个反射镜包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜，所述多个探测器包括第一探测器、第二探测器、第三探测器和第四探测器。

优选的，上述多个波片包括第一波片、第二波片、第三波片和第四波片。

优选的，上述第一波片和第四波片为/波片，所述第二波片和第三波片为/波片。

优选的，上述第一半反半透镜对应第一反射镜和第二半反半透镜设置，所述第一反射镜对应第三半反半透镜设置。

优选的，上述第二反射镜设置在第一波片前侧，第二半反半透镜设置在第二波片前侧，第三半反半透镜设置在第三波片前侧，第三反射镜设置在第四波片前侧。

本实用新型提供的分光棱镜波片移相干涉系统采用分光系统将入射光分成完全相同的四组光束，经过波片时，通过四路探测器分别接收对应相移的干涉图，计算此时的相位分布。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图标记：1-光源；2-第一半反半透镜；3-第一反射镜；41-第二反射镜；42-第一波片；43-第一探测器；51-第二半反半透镜；52-第二波片；53-第二探测器；61-第三半反半透镜；62-第三波片；63-第三探测器；71-第三反射镜；72-第四波片；73-第四探测器。

具体实施方式

为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的分光棱镜波片移相干涉系统，主要包括光源1、多个半反半透镜、多个反射镜、多个探测器和多个波片，其中，每个探测器对应一个波片，多个探测器之间并列平行设置，多个波片也并列平行设置，多个半反半透镜包括第一半反半透镜2、第二半反半透镜51和第三半反半透镜61，多个反射镜包括第一反射镜3、第二反射镜41、第三反射镜71，多个探测器包括第一探测器43、第二探测器53、第三探测器63和第四探测器73。多个波片包括第一波片42、第二波片52、第三波片62和第四波片72。第一波片42和第四波片72为1/4波片，第二波片52和第三波片62为1/2波片。第一半反半透镜2对应第一反射镜3和第二半反半透镜51设置，第一反射镜3对应第三半反半透镜61设置。第二反射镜41设置在第一波片42前侧，第二半反半透镜51设置在第二波片52前侧，第三半反半透镜61设置在第三波片62前侧，第三反射镜71设置在第四波片72前侧。

本实用新型提供的分光棱镜波片移相干涉系统如图1所示，是在同一时刻不同位置获得具有特定相移的多幅干涉图，这时尽管系统依然处于振动环境中，但对各干涉图的影响相同，从根本上克服了振动的影响，实现了相位的动态测量。采用分光系统将入射光分成完全相同的四组光束，经过波片时，通过四路探测器分别接收对应相移的干涉图，计算此时的相位分布。

以上所述之具体实施方式为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本具体实施方式，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。