[实用新型]一种激光背面焊接制备正面微纳结构的装置

权利要求书

1.一种激光背面焊接制备正面微纳结构的装置，其特征在于，包括圆柱筒形工作台(1)、线圈(2)、基板夹持机构(3)、扫描聚焦透镜(4)和XY两轴激光振镜(5)；

所述圆柱筒形工作台(1)内部中空，上表面为工作面，工作面上放置有待制备微纳结构的基板(8)，所述基板(8)通过基板夹持机构(3)夹持固定；所述工作面上设置有一圆孔(6)，所述圆孔(6)上安装有全透保护镜片；所述线圈(2)沿圆柱筒形工作台(1)的圆周方向缠绕，用于在通电时产生与基板(8)垂直的竖直方向磁场；所述圆柱筒形工作台(1)的侧面设置有一激光入射孔(7)，扫描聚焦透镜(4)和XY两轴激光振镜(5)均安装在圆柱筒形工作台(1)的内部中空腔内；

外部激光束从激光入射孔(7)水平入射至XY两轴激光振镜(5)，经XY两轴激光振镜(5)的反射后垂直入射至扫描聚焦透镜(4)，激光束经扫描聚焦透镜(4)聚焦后透过全透保护镜片输出聚焦光斑至基板(8)的背面。