[实用新型]一种多级气冷罗茨泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及系统抽真空技术领域，具体涉及一种多级气冷罗茨泵。

背景技术

气冷罗茨真空泵能够直排大气，不需要机械泵作为其前级泵，结构接单，工作稳定。气冷罗茨真空泵以其技术的优势，在国内发展较快，广泛应用于电子、化工、纺织等行业。目前国内气冷罗茨泵多为单级结构，在实际应用中，为了满足不同极限真空度的要求，通常将多台单级气冷罗茨泵串联组成气冷机组使用。但是气冷机组占空间大，功耗大，成本高。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题是：提供一种多级气冷罗茨泵，既能节省空间、降低功率和成本，又能提高被抽真空系统的真空度。

本实用新型的技术方案是：一种多级气冷罗茨泵，包括电机，连接于电机输出端的转轴，转轴横穿于泵体内；所述泵体内部设有容置腔，所述容置腔内设有多个隔板，所述隔板将容置腔分割成至少两个气冷罗茨腔，所述气冷罗茨腔与所述转轴之间用密封结构进行密封；所述气冷罗茨腔内部设有罗茨转子，所述罗茨转子套设在所述转轴上，所述转轴带动所述罗茨转子转动；所述气冷罗茨腔的上端和下端分别设有贯穿泵体的进气口和排气口，其中位于紧邻电机一端的气冷罗茨腔的进气口连通于待抽真空系统，排气口与外界封闭；位于远离电机一端的气冷罗茨腔的进气口与外界封闭，排气口连通于大气；位于中间位置的所述气冷罗茨腔的进气口和排气口均与外界处于封闭状态；所述隔板上设有进气通道，沿紧邻电机一端至远离电机一端的方向上，所述气冷罗茨腔的排气口通过进气通道连通于相邻的气冷罗茨腔的进气口；所述泵体两侧设有冷气进气口，对所述气冷罗茨腔内的罗茨转子进行冷却。

作为本实用新型的一种优选结构，所述泵体上设有进水口以及出水口，所述进水口位于远离电机一端的气冷罗茨腔的一侧，并通过进水管道与远离电机一端的气冷罗茨腔相连通；所述出水口位于紧邻电机一端的气冷罗茨腔的一侧，并通过出水管道与紧邻电机一端的气冷罗茨腔相连通。

作为本实用新型的一种优选结构，所述转轴由主动转轴、从动转轴组成，所述主动转轴、从动转轴上分别套设相配合的同步啮合齿轮，并由主动转轴带动从动转轴旋转。

作为本实用新型的一种优选结构，所述罗茨转子为三叶扭叶转子或四页扭叶转子。

作为本实用新型的一种优选结构，所述冷气进气口安装有冷却水管，用于对冷气进气口处的气体降温。

作为本实用新型的一种优选结构，所述电机与主动转轴通过联轴器连接。

本实用新型的有益效果在于：通过在一个泵体内设置了多个气冷罗茨腔，将多台单级气冷罗茨泵组结构组合在一个泵体内；用一台多级气冷罗茨泵代替多台单级气冷罗茨泵组，在节省空间、降低功率和成本的同时提高了被抽真空系统的真空度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的气冷罗茨腔结构示意图。

其中：1—电机，2—联轴器，3—容置腔，4—进气口，5—转轴，6—隔板，7—排气口，8—出水口,9—泵体，10—气冷罗茨腔，11—进气通道，12—从动转轴，13—进水口,14—罗茨转子,15—主动转轴,16—冷气进气口,17—冷却水管。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。