[实用新型]一种多级气冷罗茨泵

权利要求书

1.一种多级气冷罗茨泵，包括电机(1)，连接于电机(1)输出端的转轴(5)，转轴(5)横穿于泵体(9)内；其特征在于：所述泵体(9)内部设有容置腔(3)，所述容置腔(3)内设有多个隔板(6)，所述隔板(6)将容置腔(3)分割成至少两个气冷罗茨腔(10)，所述气冷罗茨腔(10)与所述转轴(5)之间用密封结构进行密封；所述气冷罗茨腔(10)内部设有罗茨转子(14)，所述罗茨转子(14)套设在所述转轴(5)上，所述转轴(5)带动所述罗茨转子(14)转动；所述气冷罗茨腔(10)的上端和下端分别设有贯穿泵体(9)的进气口(4)和排气口(7)，其中位于紧邻电机(1)一端的气冷罗茨腔(10)的进气口(4)连通于待抽真空系统，排气口(7)与外界封闭；位于远离电机(1)一端的气冷罗茨腔(10)的进气口(4)与外界封闭，排气口(7)连通于大气；位于中间位置的所述气冷罗茨腔(10)的进气口(4)和排气口(7)均与外界处于封闭状态；所述隔板(6)上设有进气通道(11)，沿紧邻电机(1)一端至远离电机(1)一端的方向上，所述气冷罗茨腔(10)的排气口(7)通过进气通道(11)连通于相邻的气冷罗茨腔(10)的进气口(4)；所述泵体(9)两侧设有冷气进气口(16)，对所述气冷罗茨腔(10)内的罗茨转子(14)进行冷却。

2.根据权利要求1所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于：所述泵体(9)上设有进水口(13)以及出水口(8)，所述进水口(13)位于远离电机(1)一端的气冷罗茨腔(10)的一侧，并通过进水管道与远离电机(1)一端的气冷罗茨腔(10)相连通；所述出水口(8)位于紧邻电机(1)一端的气冷罗茨腔(10)的一侧，并通过出水管道与紧邻电机(1)一端的气冷罗茨腔(10)相连通。

3.根据权利要求1所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于：所述转轴(5)由主动转轴(15)、从动转轴(12)组成，所述主动转轴(15)、从动转轴(12)上分别套设相配合的同步啮合齿轮，并由主动转轴(15)带动从动转轴(12)旋转。

4.根据权利要求1—3任意一项所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于：所述罗茨转子(14)为三叶扭叶转子或四页扭叶转子。

5.根据权利要求1—3任意一项所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于：所述冷气进气口(16)设有冷却水管(17)，用于对冷气进气口(16)处的气体降温。

6.根据权利要求3所述的一种多级气冷罗茨泵，其特征在于：所述电机(1)与主动转轴(15)通过联轴器(2)连接。