[实用新型]晶圆承盘的端盖结构有效
| 申请号： | 201520226477.1 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN204642587U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 罗郁南 | 申请（专利权）人： | 晨州塑胶工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D59/06 | 分类号： | B65D59/06;B65D85/30 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 中国台湾台中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆承盘 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆承盘的端盖结构，其包括：一端盖，该端盖设有一承接槽，藉该承接槽套接于一晶圆承盘的端部。
2.如权利要求1所述的晶圆承盘的端盖结构，其特征在于：所述端盖是呈匚型。
3.如权利要求1所述的晶圆承盘的端盖结构，其特征在于：所述承接槽设有多个肋条。
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