[实用新型]双腔时序采集装置和双腔准分子激光器

说明书

技术领域

本实用新型属于双腔准分子激光器技术领域，具体涉及一种适于高频高压快脉冲的双腔时序采集装置，以及包括该双腔时序采集装置的双腔准分子激光器。

背景技术

采用双腔结构的准分子激光器中一个腔称之为主震荡腔(MO腔)，另一个称之为放大腔(PA腔)。MO腔产生的种子光需要在时序上精确地(抖动小于±5ns)传到PA腔，此时PA腔放电激励将来自于MO腔的种子光能量放大。因此这就需要对两个放大腔的放电时序进行精确地控制。双腔准分子激光器放电抖动主要是由(1)双腔电源起始放电电压抖动、(2)放电腔内的随机抖动、(3)放电时电源的固有抖动和(4)双腔电源温度抖动和腔内气压波动四部分组成。其中第(4)部分问题的解决依赖于双腔准分子同步控制技术。也就是说，对于双腔准分子激光器的电源来讲，需要采用双腔准分子激光器同步技术将双腔放电抖动控制在±5ns之内才可以实现两个腔体的同步放电。

实现双腔激光器放电时序控制的前提是对双腔出光信号的采集，一种双腔时序采集方法在专利US7203216中被公开，其中采用的传感器采集时序比如用光电二极管。然而该方法的缺点是需要光路分光，从而损失了输出能量。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型所要解决的技术问题是现有的双腔准分子激光器中对于双腔放电的同步控制需要采集双腔出射的光信号带来的能量损失问题。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种双腔时序采集装置，该装置用于采集脉冲时序发射装置产生的脉冲，包括互感器和信号输出接口(15)，所述互感器包括至少一个由绝缘膜和金属片构成的叠层，各绝缘膜和金属片交替叠置；所述信号输出接口(15)通过传输线分别与最上方的金属片和脉冲时序发射装置的外表面连接，并将所获得的感应信号传输给外部装置。

根据本实用新型的具体实施方式，所述装置还包括阻抗匹配电路(16)，其连接于最上层的金属片与所述脉冲时序发射装置的外表面之间。

根据本实用新型的具体实施方式，所述传输线是导体，其宽度和厚度满足如下公式：所述Z_c是设计阻抗，e_r为传输线与脉冲时序发射装置的表面之间绝缘物质的相对介电常数，h为所述传输线到所述脉冲时序发射装置的外表面的距离，w为所述传输线的宽度，t为所述传输线的厚度。

根据本实用新型的具体实施方式，所述绝缘膜是高分子绝缘薄膜材料。

根据本实用新型的具体实施方式，所述高分子绝缘薄膜材料为聚乙烯或聚酰亚胺。

根据本实用新型的具体实施方式，所述金属片的材料为铜或铝。

本实用新型还提出包括上述双腔时序采集装置的双腔准分子激光器。

(三)有益效果

本实用新型应用在采用双腔结构的准分子放电同步技术中，可满足双腔准分子激光器的能量放大要求。

附图说明

图1A是本实用新型的双腔时序采集装置的一个实施例的结构示意图；

图1B是本实用新型的双腔时序采集装置的第二实施例的结构示意图；

图1C是本实用新型的双腔时序采集装置的第三实施例的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中的互感器的安装位置示意图；

图3A是本实用新型实施例的采集单元的附视图；

图3B是本实用新型实施例的传输线的放大示电图；

图4是本实用新型提出的双腔时序采集装置的应用于双腔准分子激光器中的作为双腔电源同步控制装置的模块图。

具体实施方式

本实用新型提出一种双腔时序采集装置，该装置用于采集脉冲时序发射装置产生的高频高压快脉冲。本实用新型可应用在采用双腔结构的准分子激光器的放电同步技术中，其原理是通过特殊设计的高压互感器采集放电腔的放电时序信号，并用此互感器代替现有技术中使用光电二极管采集光信号。

所述双腔时序采集方法包括如下步骤：将互感器的一端与和脉冲时序发射装置的外表面贴合；将互感器的另一端与信号输出接口通过传输线连接；将信号输出接口与所述脉冲时序发射装置的外表面电连接；处用信号输出接口将获得的感应信号输出。

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。