[实用新型]一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器有效
| 申请号： | 201520199133.6 | 申请日： | 2015-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN204669324U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 栗新伟;乔东海;汤亮;季磊;张忠山;韩胜男 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H3/02 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 基于 微机 技术 衰减器 压控振荡器 | ||
【权利要求书】：
1.一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器，包括电调衰减器和压控振荡信号源，所述压控振荡信号源的输出端连接到电调衰减器，其特征在于：所述电调衰减器由微带线模块和PIN二极管组成，所述压控振荡信号源包括有源放大器件、谐振器件、调谐网络和偏置电路，所述微带线模块包括含有空气腔的衬底、设于衬底表面的一层介质薄膜、设于介质薄膜上的微带线及其输入、输出端口的焊盘和接地焊盘，所述PIN二极管设于微带线输入、输出端口的焊盘与接地焊盘之间。
2.根据权利要求1所述的一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器，其特征在于：所述微带线的特性阻抗为50欧姆。
3.根据权利要求1所述的一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器，其特征在于：所述空气腔通过键合连接微带线的接地板，所述接地板与接地焊盘之间连接有接地通孔条。
4.根据权利要求1所述的一种带有基于微机电技术的电调衰减器的压控振荡器，其特征在于：所述的介质薄膜采用SiO2-Si3N4-SiO2复合介电层结构。
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