[实用新型]一种蓝宝石退火炉装置有效
申请号: | 201520108680.9 | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN204491040U | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | 徐建平 | 申请(专利权)人: | 雅安六方星群光电有限公司 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;C30B29/20 |
代理公司: | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人: | 韩洋;刘雪莲 |
地址: | 625100 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 退火炉 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石晶体退火处理领域,特别涉及一种蓝宝石退火炉装置。
背景技术
蓝宝石晶体是纯的三氧化二铝晶体,在一些电子屏幕,以及某些高科技产品中运用越来越广泛,比如手机屏幕、可穿戴产品、武器系统中。但蓝宝石晶体在生长炉内生长过程中非常缓慢,工艺非常复杂,总会出现一些缺陷,比如内部应力、一些空位和位错,这些均会影响蓝宝石晶体的质量,甚至会限制蓝宝石的应用范围。因此亟需一种减少蓝宝石晶体中的缺陷,提高蓝宝石的质量的技术手段。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中所存在的上述不足,提供一种蓝宝石退火炉装置,以便于对蓝宝石晶体进行退火处理,从而减少蓝宝石晶体中的缺陷,提高蓝宝石的质量,拓宽蓝宝石晶体的应用范围。
为了实现上述发明目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种蓝宝石退火炉装置,包括退火炉,所述退火炉内壁设有加热电极,所述退火炉内壁还设有一圈耐火砖层,所述加热电极位于所述退火炉内壁和所述耐火砖层之间;所述退火炉内还设有用于测量所述退火炉内温度的温度测量装置,所述温度测量装置电连接温控装置,所述温控装置电连接所述加热电极。
优选的,所述加热电极为金属钨电极、金属钼电极和石墨电极其中之一。
优选的,所述加热电极为螺旋形电极,所述加热电极沿所述退火炉内壁从下往上螺旋形紧贴设置。
优选的,所述温度测量装置为热电偶。
进一步的,所述热电偶为铂铑热电偶。
优选的,所述耐火砖为三氧化二铝耐火砖。
优选的,所述温控装置位于所述退火炉外。
优选的,所述温控装置控制所述加热电极发热使所述退火炉内温度范围为200-1800℃。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
本实用新型的蓝宝石退火炉装置工作时,将生长好的蓝宝石晶体置于退火炉中,温控装置控制加热电极发热使退火炉内温度升高,并根据温度测量装置测得的退火炉内温度不断调整加热电极的发热功率,实现退火炉内温度的加热、保温、冷却等工艺,减少蓝宝石晶体中的缺陷,提高蓝宝石的质量,拓宽蓝宝石晶体的应用范围。
附图说明:
图1是本实用新型实施例中的蓝宝石退火炉装置示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。但不应将此理解为本实用新型上述主题的范围仅限于以下的实施例,凡基于本实用新型内容所实现的技术均属于本实用新型的范围。
如图1所示的蓝宝石退火炉装置,包括退火炉,所述退火炉内壁(图未示)设有加热电极1,所述退火炉内壁还设有一圈耐火砖层2,所述加热电极1位于所述退火炉内壁(图未示)和所述耐火砖层2之间;所述退火炉内还设有用于测量所述退火炉内温度的温度测量装置3,所述温度测量装置3电连接温控装置4,所述温控装置4电连接所述加热电极1。工作时,将生长好的蓝宝石晶体置于退火炉中,温控装置4控制加热电极1发热使退火炉内温度升高,并根据温度测量装置3测得的退火炉内温度不断调整加热电极1的发热功率,实现退火炉内温度的加热、保温、冷却等工艺,减少蓝宝石晶体中的缺陷,提高蓝宝石的质量,拓宽蓝宝石晶体的应用范围。
具体的,所述加热电极1为金属钨电极、金属钼电极和石墨电极其中之一。当然也可以采用其他耐高温的加热电极。本实施例中采用金属钨电极,钨熔点为3410℃,作为电极材料具有稳定性高,耐高温等特点,在进行加热时可以加热到很高的温度而依然正常工作。在一个优选方案中,所述加热电极1为螺旋形电极,所述加热电极1沿所述退火炉内壁从下往上螺旋形紧贴设置。螺旋形电极具有加热均匀稳定等特点,在加热时可以使退火炉内温度变换均匀。本实施例中所述温度测量装置3为热电偶,所述热电偶采用铂铑热电偶,其为成熟技术产品,工作稳定性好。当然所述温度测量装置3也可以采用其他测温器件。本实施例中所述耐火砖为三氧化二铝耐火砖,退火炉内膛为圆柱型,内膛铺设三氧化二铝耐火砖层。三氧化二铝耐火砖与蓝宝石晶体均由相同的三氧化二铝晶体构成,加热时不会有其他物质混入蓝宝石晶体,可以防止蓝宝石晶体被污染。本实施例中所述温控装置4位于所述退火炉外,通过导线与所述热电偶和加热电极1连接。所述温控装置4可由微处理器、微控制器或FPGA逻辑电路等构成。所述温控装置4控制所述加热电极1发热使所述退火炉内温度范围为200-1800℃。该退火炉装置可以处理最大重量80公斤的蓝宝石晶体,最高退火温度200-1800℃。
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