[实用新型]一种多晶硅还原炉用石墨组件有效
| 申请号: | 201520088882.1 | 申请日: | 2015-02-06 |
| 公开(公告)号: | CN204454607U | 公开(公告)日: | 2015-07-08 |
| 发明(设计)人: | 陈晶 | 申请(专利权)人: | 无锡中硅新材料股份有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021 |
| 代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 邵骅 |
| 地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 还原 石墨 组件 | ||
1.一种多晶硅还原炉用石墨组件,包括石墨底座(1)和用于固定硅芯的石墨卡瓣(2),其特征是:所述石墨底座(1)和石墨卡瓣(2)为承插式结构,所述石墨卡瓣(2)插入所述石墨底座(1)内。
2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉用石墨组件,其特征是:所述石墨底座(1)内设有卡瓣安装腔(3),卡瓣安装腔(3)为上大下小的锥形腔,石墨卡瓣(2)下部为与所述卡瓣安装腔(3)形状相适应的锥形体,所述石墨卡瓣(2)通过下部锥形体卡紧在所述卡瓣安装腔(3)中;所述石墨卡瓣(2)中心设有硅芯安装腔(4)。
3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉用石墨组件,其特征是:所述硅芯安装腔(4)为方形、圆柱形、圆锥形或棱形。
4.如权利要求1-3任一项所述的多晶硅还原炉用石墨组件,其特征是:所述石墨卡瓣(2)由两瓣或两瓣以上多个组成瓣构成。
5.如权利要求2或3所述的多晶硅还原炉用石墨组件,其特征是:所述硅芯安装腔(4)周围均匀设有多个膨胀槽(5)。
6.如权利要求2或3所述的多晶硅还原炉用石墨组件,其特征是:所述卡瓣安装腔(3)为圆形锥或多边形锥的锥形腔。
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