[实用新型]真空镀膜双卷式进出料装置有效
申请号: | 201520063022.2 | 申请日: | 2015-01-29 |
公开(公告)号: | CN204509448U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 闫会朝;丁磊;李晓哲 | 申请(专利权)人: | 厦门玉通光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 戚东升 |
地址: | 361000 福建省厦门市海*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 双卷式 进出 装置 | ||
技术领域
本实用新型公开一种真空镀膜双卷式进出料装置,按国际专利分类表(IPC)划分属于真空镀膜机制造技术领域。
背景技术
目前,柔性基底材料如聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethylene terephthalate,PET)随着触摸屏行业的技术革新而迅速发展起来,柔性基材镀膜一般采用卷绕式镀膜技术实现,现有的卷绕镀膜机在收、放区配合安装一个放料卷及一个收料卷,在基材卷拉过程中,容易跑偏,从而降低生产良率及质量。
发明内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种真空镀膜双卷式进出料装置,通过设置两个放料卷及相配合的两个收料卷,提高了镀膜效率及镀膜质量。
为达到上述目的,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
一种真空镀膜双卷式进出料装置,包括对称设于主辊筒两侧的放卷传动组件和收卷传动组件,放卷传动组件包含一放料辊,放料辊上设有两个薄膜卷材,收卷传动组件包含一收料辊,收料辊上配合设有两个收料卷,放料辊上两卷薄膜自放卷辊沿卷绕方向同步磁控镀膜。
进一步,所述放卷传动组件包括放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊,按照薄膜输送方向,放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侧;收卷传动组件包括第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收料辊,按照薄膜输送方向,第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒的输出侧。
进一步,所述放卷传动组件和收卷传动组件固定在机芯的芯架上,机芯与机壳配合形成镀膜封闭空间。
进一步,所述主辊筒外周的机壳内壁分布有多个磁控靶,机壳外壁设有多个抽真空用的分子泵。
本实用新型通过在放料辊上设有两个薄膜卷材,提高了镀膜效率,避免薄膜在输送过程中跑偏现象出现。本实用新型机芯柔性基材卷绕系统可以伸入或拖出到机壳部分真空室,使设备上下膜及操作维护更方便。
附图说明
图1是本实用新型示意图。
图2是本实用新型机芯部分示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
实施例:请参阅图1及图2,一种真空镀膜双卷式进出料装置,包括对称设于主辊筒两侧的放卷传动组件和收卷传动组件,放卷传动组件包含一放料辊31,放料辊上设有两个薄膜卷材61、62,收卷传动组件包含一收料辊32,收料辊上配合设有两个收料卷,放料辊上两卷薄膜自放卷辊沿卷绕方向同步磁控镀膜。放卷传动组件包括放料辊31、第一导辊41、放卷张力辊42、第二导辊43和第三导辊44,按照薄膜输送方向,放料辊、第一导辊、放卷张力辊、第二导辊和第三导辊依次设置于主辊筒的输入侧;收卷传动组件包括第四导辊45、第五导辊46、收卷张力辊47、第六导辊48和收料辊32,按照薄膜输送方向,第四导辊、第五导辊、收卷张力辊、第六导辊和收卷辊依次设置于主辊筒5的输出侧。如图2所示,放卷传动组件和收卷传动组件固定在机芯1的芯架上,机芯1与机壳2配合形成镀膜封闭空间。
如图1,本实用新型主辊筒外周的机壳2内壁分布有多个磁控靶7,机壳外壁设有多个抽真空用的分子泵8。
本实用新型通过在放料辊上设有两个薄膜卷材,提高了镀膜效率,避免薄膜在输送过程中跑偏现象出现。本实用新型机芯柔性基材卷绕系统可以伸入或拖出到机壳部分真空室,使设备上下膜及操作维护更方便。
以上所记载,仅为利用本创作技术内容的实施例,任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化,皆属本创作主张的专利范围,而不限于实施例所揭示者。
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