[发明专利]纳米结构在基底上的可控生长以及基于此的电子发射器件

权利要求书

1.一种电子束直写机，包括：

具有底部和尖端的纳米结构，所述底部附于第一电极；

设置在所述纳米结构周围的多个第二电极；以及

将第一电极连接至所述多个第二电极的电路，所述电路被设置为：

使电压差在第一电极和所述多个第二电极之间出现；

使得电子从尖端发射；以及

使得尖端在空间上向所述多个第二电极的其中一个移动。

2.根据权利要求1所述的电子束直写机，其中所述多个第二电极在所述纳米结构周围对称设置。

3.根据权利要求1所述的电子束直写机，其中所述纳米结构的底部包括多个层，其中所述多个层中的至少一个层是半导体材料层，且所述多个层中的另一层是催化剂层。