[发明专利]一种双声路声表面波温度传感器

权利要求书

1.一种双声路声表面波温度传感器，其特征在于，所述声表面波温度传感器包括信号处理单元，以及设置在压电基片上的叉指换能器、多条耦合器、第一正负反射栅和第二正负反射栅；所述压电基片表面还敷设有吸声材料；

所述叉指换能器，用于接收天线发送的激励信号，在压电基片表面产生声表面波，以及接收第一正负反射栅反射回的第一反射信号和第二正负反射栅反射回的第二反射信号，并将反射回的信号经过天线发送至信号处理单元；

所述多条耦合器，改变所述声表面波中表面波信号的传播方向，使其依次经过第一正负反射栅和第二正负反射栅；不改变所述声表面波中体声波信号的传播方向，所述体声波信号传播至压电基片衬底边缘时，被所述吸声材料吸收。

2.如权利要求1所述的双声路声表面波温度传感器，其特征在于，所述信号处理单元，用于向所述叉指换能器发送激励信号；

所述信号处理单元，依据所述第一反射信号和第二反射信号之间的相位差值的变化量，度量温度的变化量。

3.如权利要求2所述的双声路声表面波温度传感器，其特征在于，所述相位差值的变化量Δφ₂₁的计算公式为：

Δφ₂₁＝2πf₀×Δt₂₁(1)

其中，t₂₁为第一反射信号和第二反射信号到达叉指换能器的时间差，d为第一正负反射栅和第二正负反射栅之间的距离，V_SAW为声表面波的传播速度，所述距离d和传播速度V_SAW依据温度的变化而变化；Δt₂₁为所述时间差的变化量；

φ₂₁为叉指换能器接收到的第一反射信号和第二反射信号的相位差值，φ₂₁＝2πf₀t₂₁；

f₀为声表面波的谐振频率。

4.如权利要求1所述的双声路声表面波温度传感器，其特征在于，所述第一正负反射栅和第二正负反射栅均包括开路反射栅和短路反射栅。

5.如权利要求1所述的双声路声表面波温度传感器，其特征在于，所述叉指换能器包括单端口输入和单端口输出。

6.如权利要求1所述的双声路声表面波温度传感器，其特征在于，所述压电基片为石英晶体。