[发明专利]电子装置、物理量传感器、压力传感器以及高度计

说明书

技术领域

本发明涉及电子装置、物理量传感器、压力传感器、高度计、电子设备 以及移动体。

背景技术

已知一种电子装置，其具有使用半导体制造工艺而形成的空洞部(例如， 参照专利文献1)。作为这种电子装置的一个示例，例如可列举出专利文献1 所涉及的MEMS(MicroElectroMechanicalSystem：微机电系统)元件， 该MEMS元件具有基板、被形成在基板的主面上的谐振子、被形成在基板的主 面上并形成对谐振子进行收纳的空间的空间壁部。此外，专利文献1所涉及 的MEMS元件的基板的一部分被形成为薄壁而作为隔膜发挥功能。而且，根据 伴随着由受压引起的隔膜的挠曲而产生的谐振子的频率特性的变化，来对压 力进行检测。

但是，在专利文献1所涉及的MEMS元件中，由于空间壁部(侧壁)的内 周在俯视观察时对应于隔膜的俯视形状而呈矩形形状，因此在空间壁部的顶 部产生了热收缩等时应力会集中在顶部的与侧壁的角部对应的部分处，其结 果为，存在会在顶部中产生裂纹等损伤的问题。

专利文献1：日本特开2014－115208号公报。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有优异的可靠性的电子装置以及物理量传 感器，另外提供具备所涉及的电子装置的压力传感器、高度计、电子设备以 及移动体。

这样的目的通过下述的本发明来实现。

应用例1

本发明的电子装置的特征在于，具备：基板；功能元件，其被配置在所 述基板上；壁部，其以在俯视观察所述基板时包围所述功能元件的方式而被 配置在所述基板的一面侧；顶部，其相对于所述壁部而被配置在与所述基板 相反的一侧，并同所述基板及所述壁部一起构成内部空间，所述壁部的所述 顶部侧的端部的内周缘具有在俯视观察时屈曲或弯曲成钝角的曲部。

根据这种电子装置，通过实质上消除壁部的与基板相反的一侧的端部的 内周缘的在俯视观察时屈曲成直角或锐角的部分(容易使顶部产生应力集中 的部分)消除，从而能够在产生了顶部的热收缩等时减少顶部的应力集中。 因此，能够减少因顶部的热收缩等而导致的损伤。由此，能够提供一种具有 优异的可靠性的电子装置。

应用例2

在本发明的电子装置中，优选为，所述曲部的数量在五个以上。

由此，即使壁部的与基板相反一侧的端部的内周缘具有在俯视观察时屈 曲的部分，也能够将该部分的角度全部设为钝角。即，能够将壁部的与基板 相反的一侧的端部的内周缘的在俯视观察时屈曲成直角或锐角的部分在整周 上全部消除。

应用例3

在本发明的电子装置中，优选为，所述曲部的形状在所述俯视观察时沿 着圆弧。

由此，能够在产生了顶部的热收缩等时有效地减少顶部的应力集中。

应用例4

在本发明的电子装置中，优选为，所述内周缘的形状在所述俯视观察时 为圆形或椭圆形。

由此，能够在产生了顶部的热收缩等时有效地减少顶部的应力集中。

应用例5

在本发明的电子装置中，优选为，所述基板具有隔膜部，所述隔膜部被 设置于在俯视观察时至少一部分与所述顶部重叠的位置处，并通过受压而发 生挠曲变形。

由此，能够实现可对压力进行检测的电子装置(物理量传感器)。

应用例6

在本发明的电子装置中，优选为，所述功能元件为通过变形而输出电信 号的传感器元件。

由此，能够使压力的检测灵敏度提高。

应用例7

在本发明的电子装置中，优选为，在俯视观察时，所述隔膜部的轮廓为 矩形。

由此，能够使压力的检测灵敏度提高。

应用例8

在本发明的电子装置中，优选为，所述内周缘在所述俯视观察时为矩形。

由此，能够减少壁部无意间阻碍在俯视观察时呈矩形的隔膜部的因受压 而产生的挠曲变形的情况，并且高效地对壁部进行配置。

应用例9

本发明的物理量传感器的特征在于，具备本发明的电子装置，所述功能 元件为传感器元件。