[发明专利]掺铝钛氧化锌靶材的制备方法

权利要求书

1.掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：

a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中，混合球磨2～6h，得到浆料；所述浆料的固相体积分数为45～75％；所述浆料的pH值控制在6.0～10；

b、将甲基丙烯酰胺和聚乙二醇二甲基丙烯酸分散到浆料中，并搅拌或球磨1～3h；

c、向b步骤得到的浆料中再加入催化剂和引发剂，并搅拌0.25～1h；然后用无水乙醇除泡；

d、将除泡的浆料注入无孔模具，干燥直至能够脱模，得到掺铝钛氧化锌靶材坯体；

e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体从室温加热到1300℃～1400℃烧结1240～2410min，随炉冷却，得到掺铝钛氧化锌靶材。

2.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤a所述氧化锌、氧化铝和二氧化钛的质量比为96～99︰1～3︰0.2～2.5；所述氧化铝、二氧化钛和氧化锌的D90为1～10微米。

3.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤a所述的均匀分散时，需要使用分散剂；所述的分散剂为聚乙烯醇、聚羧酸盐、聚丙烯酸盐或羧甲基纤维素盐中的至少一种；所述分散剂的添加量分别为浆料质量的0.001％～0.01％。

4.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤b所述甲基丙烯酰胺的添加量为浆料质量的0.05％～2.0％。

5.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤b所述聚乙二醇二甲基丙烯酸的添加量为浆料质量的0.05％～2.0％。

6.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤c所述的催化剂为N,N,N’,N’-四甲基乙二胺；所述的引发剂为过硫酸铵；所述催化剂和引发剂的添加量分别为氧化铝、二氧化钛和氧化锌质量总和的0.05％～0.50％。

7.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤a～c所述分散剂、聚乙烯醇、甲基丙烯酰胺-聚乙二醇二甲基丙烯酸、聚乙二醇二甲基丙烯酸、催化剂和引发剂添加量的总和为氧化铝、二氧化钛和氧化锌总质量的0.2～3％。

8.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤c所述无水乙醇的添加量为加入了催化剂和引发剂之后总质量的0.05％～0.2％。

9.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤d所述干燥的温度为16～30℃。

10.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤e所述烧结的升温步骤为：50～80min从常温升温至100℃；50～80min从100℃升温至240℃，在240℃保温120～150min；120～300min从240升温至500℃，在500℃保温120～180min；120～300min从500℃升温至800℃；120～300min从800℃升温至1000℃，在1000℃保温120～180min；120～300min从1000℃升温至1200℃；120～300min从1200℃升温至1400℃，在1400℃保温180～240min。