[发明专利]一种基于一氨基苯基取代卟啉纳米材料的二氧化氮气敏传感器

权利要求书

1.一种用于测定二氧化氮气体的气敏传感器元件，所述传感器元件包含ITO导电玻璃 基底（1）叉指电极（2）和卟啉纳米材料涂层（3）；所述叉指电极（2）刻蚀在ITO导电玻璃基底 （1）上，所述材料涂层（3）滴涂在叉指电极上，其特征在于，所述材料涂层的组分为5-对氨基 苯基-10,15,20-三苯基卟啉纳米材料。

2.一种制备权利要求1所述气敏传感器元件的方法，该方法包括以下步骤：

1）ITO导电玻璃叉指电极的制备；

2）将上述ITO导电玻璃清洗干净；

3）将5-对氨基苯基-10,15,20-三苯基卟啉聚集体滴涂到步骤2）得到的ITO导电玻璃基 片的叉指电极上，晾干，即得到气敏传感器的气敏元件。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤1）所述ITO导电玻璃叉指电极的 制备方法为：

①在清洗后的ITO透明导电玻璃上旋涂上一层负光刻胶，然后将其置入干燥箱中70?C 恒温10min；

②以设计有图案的光绘片为掩膜版，在光刻机下曝光18秒后显影和漂洗；

③将显影清晰的式样进行140?C焙烘40min，在盐酸和硝酸的混合液中刻蚀后，用去离 子水和负胶清洗液除去残酸和光刻胶，得到图1所示的ITO导电玻璃叉指电极。

4.一种权利要求2步骤3中所述5-对氨基苯基-10,15,20-三苯基卟啉纳米材料的制备 方法，该方法包括以下步骤：

1）将5-对氨基苯基-10,15,20-三苯基卟啉加入到良溶剂中溶解，过滤；

2）向步骤1）所得滤液中注入或滴加不良溶剂，密封，静置3～4天，得到5-对氨基苯基- 10,15,20-三苯基卟啉纳米材料；

根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，5-对氨基苯基-10,15,20-三苯基卟啉 (mol)与良溶剂(ml)摩尔体积比为1：5～100，优选1:4～80；

不良溶剂与良溶剂的体积比为1:3～10；

所述良溶剂选自三氯甲烷、二氯甲烷中的一种或两种；

所述不良溶剂选自甲醇、正己烷中的一种或两种。

5.5-对氨基苯基-10,15,20-三苯基卟啉用于制备二氧化氮气敏传感器的用途。