[发明专利]一种掩模板的检修方法在审

专利信息
申请号: 201510685461.1 申请日: 2015-10-20
公开(公告)号: CN105182684A 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 井杨坤;孙跃;王婷婷;王婷婷 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
主分类号: G03F1/84 分类号: G03F1/84;G03F1/72
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 模板 检修 方法
【权利要求书】:

1.一种掩模板的检修方法,其特征在于,包括:

确定掩模板的金属镀层的异常位置,并确定所述异常位置的坐标;

对所述异常位置涂覆修复胶,以使涂胶平面与所述掩模板的正常金属镀层的平面齐平;其中,所述修复胶包括金属材料;

对所述修复胶进行固化。

2.根据权利要求1所述的掩模板的检修方法,其特征在于,对所述异常位置涂覆修复胶,包括:

对所述异常位置的异常程度进行判断,若所述异常程度大于预设值,则对所述异常位置涂覆修复胶。

3.根据权利要求2所述的掩模板的检修方法,其特征在于,对所述异常位置的异常程度进行判断,若所述异常程度大于预设值,则对所述异常位置涂覆修复胶,包括:

当所述异常位置位于所述金属镀层的非边缘区域时,对所述异常位置的所述金属镀层厚度进行判断,相对所述掩模板的正常金属镀层,若所述异常位置的所述金属镀层缺失的厚度大于预设值,则对所述异常位置涂覆修复胶;

当所述异常位置位于所述金属镀层的边缘区域时,对所述异常位置的宽度进行判断,若所述异常位置的宽度大于预设值,则对所述异常位置涂覆修复胶。

4.根据权利要求1所述的掩模板的检修方法,其特征在于,对所述异常位置涂覆修复胶,包括:

利用步进式点胶机找到所述异常位置的坐标,对所述异常位置涂覆修复胶。

5.根据权利要求1所述的掩模板的检修方法,其特征在于,对所述修复胶进行固化,包括:

将涂覆修复胶后的掩模板放入紫外光固化设备进行固化。

6.根据权利要求1所述的掩模板的检修方法,其特征在于,确定掩模板的金属镀层异常位置,并确定所述异常位置的坐标,包括:

利用红外探测器和光学成像物镜接收所述掩模板的红外辐射能量,获得红外热像图,以获得所述掩模板的温度分布场信息;

根据所述掩模板的温度分布场信息,确定掩模板的异常位置,并确定所述异常位置的坐标。

7.根据权利要求1所述的掩模板的检修方法,其特征在于,确定掩模板的金属镀层异常位置,并确定所述异常位置的坐标,包括:

利用所述掩模板对液晶显示面板的封框胶进行固化,并利用位于液晶显示面板下方的光强感知装置,判断所述液晶显示面板的显示区域是否有漏光,若有,则确定掩模板的异常位置,并确定所述异常位置的坐标。

8.根据权利要求7所述的掩模板的检修方法,其特征在于,所述方法还包括:停止利用所述掩模板对液晶显示面板的封框胶进行固化。

9.根据权利要求1-8任一项所述的掩模板的检修方法,其特征在于,在确定掩模板的异常位置之后,对所述异常位置涂覆修复胶之前,对所述掩模板进行清洗,并吹干。

10.根据权利要求1-8任一项所述的掩模板的检修方法,其特征在于,所述修复胶中的金属材料与所述掩模板的金属镀层的材料相同。

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