[发明专利]用于TFT平板显示器的超高纯铝板细晶靶材的制备方法

权利要求书

1.用于TFT平板显示器的超高纯铝板细晶靶材的制备方法,其特征在于，包含以下步骤：

步骤一：选取纯度大于99.999wt％的高纯铝铸锭为原材料，轧制之前对其表面进行简单的处理，保证表面光洁；

步骤二：将高纯铝板材放至可逆热轧机中进行轧制处理，轧制前加热温度范围为300℃～450℃，进行8～12道次轧制过程，控制高纯铝板材总变形量为90％以上；

步骤三：使用校平机校平板材，保证其平整度；

步骤四：在200℃～300℃条件下对校平后的高纯铝板材进行退火处理,退火时间2～4小时；

步骤五：通过表面铣削加工后，平均粒度在100～200μm，获得高纯铝板靶材。

2.如权利要求1所述的用于TFT平板显示器的超高纯铝板细晶靶材的制备方法，其特征在于，选取纯度大于99.999wt％，尺寸为2600mm×200mm×18mm的高纯铝板材为原材料，对其表面进行简单的处理，保证表面光洁；然后加热铝锭至350℃，将板材放至可逆热轧机中进行轧制处理，共进行8道次工艺，控制高纯铝板材总变形量达90％，轧制完成后再使用校平机对其校平，保证其平整度；随后对板材进行退火工艺处理，退火温度为200℃，退火时间为2小时；待板材完全冷却，测量晶粒粒度大小为160μm，即制得目标产物超高纯铝板细晶靶材。

3.如权利要求1所述的用于TFT平板显示器的超高纯铝板细晶靶材的制备方法，其特征在于，选取纯度大于99.999wt％，尺寸为2600×210×18mm的高纯铝板材为原材料，对其表面进行简单的处理，保证表面光洁；然后加热铝锭至400℃，将板材放至可逆热轧机中进行轧制处理，共进行10道次工艺，控制高纯铝板材总变形量达92％，轧制完成后再使用校平机对其校平，保证其平整度；随后对板材进行退火工艺处理，退火温度为250℃，退火时间为3小时；待板材完全冷却，测量晶粒粒度大小为136μm，即制得目标产物超高纯铝板细晶靶材。

4.如权利要求1所述的用于TFT平板显示器的超高纯铝板细晶靶材的制备方法，其特征在于，选取纯度大于99.999wt％，尺寸为2600×200×18mm的高纯铝板材为原材料，对其表面进行简单的处理，保证表面光洁；然后加热铝锭至450℃，将板材放至可逆热轧机中进行轧制处理，共进行12道次工艺，控制高纯铝板材总变形量达94.5％，轧制完成后再使用校平机对其校平，保证其平整度；随后对板材进行退火工艺处理，退火温度为300℃，退火时间为4小时；待板材完全冷却，测量晶粒粒度大小为120μm，即制得目标产物超高纯铝板细晶靶材。