[发明专利]一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层及其制备方法

权利要求书

1.一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层，其特征在于：组分与重量百分比如下：

光固化树脂20%～60%，

附着剂2%~10%，

活性稀释剂20%～50%，

光引发剂5%～15%，

促进剂0.5%～7%，

辅助剂0.5%~4%，

填料0.5%~5%；

所述的光固化树脂为官能度为3的聚氨酯丙烯酸酯、官能度为3的聚酯丙烯酸酯中的一种或两种的混合物；

所述的附着剂为线性大分子聚丙烯酸脂、UV金属底处理剂中的一种或两种的混合物；

所述的活性稀释剂为聚乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二缩丙二醇二丙烯酸酯、三缩丙二醇二丙烯酸酯中的一种或两种的混合物；

所述的光引发剂为1-羟基环己基苯基甲酮、2,4,6-三甲基苯甲酰基苯基膦酸乙酯中的一种或两种的混合物；

所述的促进剂为磷酸三丁酯、聚醚中的一种或两种的混合物；

所述的辅助剂为对羟基苯甲醚；

所述的填料为核桃壳粉。

2.根据权利要求1所述的一种Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层，其特征在于：所述的填料的直径为75μm~125μm。

3.根据权利要求1所述的Roll-to-Roll化学机械抛光机用固结磨料抛光辊的弹性层，其特征是它的制备方法包括以下步骤：

（1）准备若干玻璃器皿及搅拌器；

（2）按一定的质量比例称量好所选光固化树脂、附着剂、活性稀释剂、光引发剂、促进剂、填料、辅助剂，待用；

（3）将弹性层光固化模具安装在没有固化的抛光辊基体上；

（4）调整光固化机的固化参数：调整抛光辊轴驱动电机转速为60r/min、模具上表面距光源30mm、回转工作台电机转速为60r/min、定时器设置5分钟；

（5）首先将称量好的光固化树脂倒入搅拌器内，然后倒入活性稀释剂、光引发剂、促进剂、附着剂、填料、辅助剂，充分搅拌混合均匀，成为混合物；

（6）将步骤（5）制成的混合物倒入步骤（3）所安装好的弹性层光固化模具内，并充分充满模具内表面与基体之间的空隙；

（7）将步骤（6）的模具及抛光辊一起安装到固结磨料光固化机上；

（8）开机进行光固化；

（9）待光固化机停止运行后，等待5分钟，取出光固化好的抛光辊，安装上刚性层光固化模具，便可以进行下一步刚性层的光固化操作。