[发明专利]坩埚装置和蒸镀设备

说明书

技术领域

本发明涉及通信领域，尤其是涉及一种坩埚装置和蒸镀设备。

背景技术

目前，市场广泛使用的屏幕是LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)和OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)，而OLED主要应用于小尺寸面板。与LCD相比，OLED具有轻薄，低功耗，高对比度，高色域，及可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED(Passive Matrix OLED，无源矩阵有机发光二极体)显示和AMOLED(Active Matrix OLED，有源矩阵有机发光二极体)显示，其中AMOLED显示的实现方式有两种：(1)LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅技术)背板+精细金属掩膜(FMM Mask)方式、(2)Oxide(氧化物)背板+WOLED+彩膜的方式，前者主要应用于小尺寸面板，例如手机和其它移动终端，后者主要应用于大尺寸面板，例如Monitor(显示器)和电视等。现在，LTPS背板+FMM Mask这一实现方式已经初步成熟，并实现了量产。

精细金属掩膜(FMM Mask)模式，是指通过蒸镀方式将OLED材料按照预定程序蒸镀到LTPS背板上，利用FMM上的图形，形成红绿蓝器件。蒸镀是在真空腔体中进行的，量产过程中，蒸发源通常使用线性蒸发源，坩埚通常使用线性坩埚。请参考图1，图1是根据现有技术的坩埚装置的侧面示意图，如图1所示，坩埚为中空结构，使用外部加热丝对其进行加热，由于加热丝容易变形，导致坩埚的温度均匀性差，整体温度均匀性有10％～20％，蒸镀出来的膜层厚度不均，并且容易引起坩埚内材料变性等问题。

然而，针对上述技术缺陷，现有技术并没有提供一种有效的解决方案。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种温度均匀性好、能够使蒸镀出来的薄膜厚度均匀、且不会造成坩埚内材料变性用于蒸镀的坩埚装置和蒸镀设备。

为了达到上述目的，本发明提供了一种坩埚装置和蒸镀设备。

根据本发明的一个方面，提供了一种坩埚装置，包括：外壁、内壁及加热部件，所述加热部件设置于所述外壁的外部；所述外壁和所述内壁形成一用于容纳导热液体的腔体。

优选地，所述外壁和所述内壁的材料均为钛。

优选地，所述外壁的侧壁上设置有一用于向所述腔体中注入所述导热液体的液体注入管。

优选地，所述液体注入管的顶部开口位置高于所述侧壁的最高位置。

优选地，所述液体注入管上设置有冷却部件，用于对所述液体注入管进行冷却，使得蒸发到所述液体注入管处的气态导热液体冷却为液态导热液体并回流到所述腔体中。

优选地，所述液体注入管上设置有一温度控制器，用于对所述液体注入管的温度进行实时监控，并将得到的实时温度反馈到所述冷却部件，使得所述冷却部件根据所述实时温度与温度阈值的差值调整对所述液体注入管的冷却操作。

优选地，所述液体注入管的顶部开口处设置有一密封盖，用于形成对所述液体注入管的密封，当所述导热液体通过所述液体注入管注入所述腔体后，通过所述液体注入管向所述腔体中除注入的导热液体之外的剩余空间充入惰性气体，或将所述剩余空间抽成真空后，使用所述密封盖对所述液体注入管进行密封。

优选地，所述液体注入管的材料为钛。

优选地，所述导热液体包括：导热油。

优选地，所述坩埚装置的形状为长方体。

根据本发明的另一个方面，提供了一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括上述坩埚装置。

与现有技术相比，本发明所述的坩埚装置和蒸镀设备，在坩埚内外壁间填充导热油，导热油在加热丝加热过程中能够快速将热量进行均匀地传导给坩埚内壁，使坩埚内壁均匀受热，蒸镀材料添加于坩埚内后得到均匀受热后进行蒸发，导热油加热均匀能够维持材料温度均匀，这样就保证了整体的温度均匀性，大大提高了坩埚加热时的温度均匀性，从而能够保证蒸镀出来的薄膜厚度均匀性高的效果，而且可以避免蒸镀材料变性情况的发生。

附图说明

图1是根据现有技术的坩埚装置的侧面示意图；

图2是根据本发明实施例的坩埚装置的侧面示意图；

图3是根据本发明实施例的坩埚装置的俯视示意图。

具体实施方式