[发明专利]坩埚装置和蒸镀设备

权利要求书

1.一种坩埚装置，其特征在于，包括：

外壁、内壁及加热部件，所述加热部件设置于所述外壁的外部，所述加热部件为加热丝；

所述外壁和所述内壁形成一用于容纳导热液体的腔体；

所述外壁的侧壁上设置有一用于向所述腔体中注入所述导热液体的液体注入管；

所述液体注入管上设置有冷却部件，用于对所述液体注入管进行冷却，使得蒸发到所述液体注入管处的气态导热液体冷却为液态导热液体并回流到所述腔体中。

2.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，所述外壁和所述内壁的材料均为钛。

3.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，所述液体注入管的顶部开口位置高于所述侧壁的最高位置。

4.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，所述液体注入管上设置有一温度控制器，用于对所述液体注入管的温度进行实时监控，并将得到的实时温度反馈到所述冷却部件，使得所述冷却部件根据所述实时温度与温度阈值的差值调整对所述液体注入管的冷却操作。

5.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，所述液体注入管的顶部开口处设置有一密封盖，用于形成对所述液体注入管的密封，当所述导热液体通过所述液体注入管注满所述腔体后，在密封条件下通过所述液体注入管从所述腔体中抽出预定体积的所述导热液体，在剩余的所述导热液体上方形成真空空间，或再向所述真空空间充入惰性气体，并使用所述密封盖对所述液体注入管进行密封。

6.根据权利要求1所述的坩埚装置，其特征在于，所述液体注入管的材料为钛。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的坩埚装置，其特征在于，所述导热液体包括：导热油。

8.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：权利要求1至7中任一项所述的坩埚装置。