[发明专利]一种具有蓝宝石表层的玻璃镜片及其制备方法有效
| 申请号： | 201510304004.3 | 申请日： | 2015-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN105039917B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 黄定平;赵灿东 | 申请（专利权）人： | 河源市璐悦自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 517000 广东省河源市城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 蓝宝石 表层 玻璃 镜片 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有蓝宝石表层的玻璃镜片，其特征在于:所述具有蓝宝石表层的玻璃镜片包括玻璃镜片和附着在所述玻璃镜片上的蓝宝石薄膜；以金属铝为靶材，以氮气为溅射气体、以玻璃镜片为衬底，以及以氧气为反应气体，对所述靶材进行溅射以在所述衬底上形成蓝宝石薄膜，所述蓝宝石薄膜即为氧化铝薄膜，其中控制沉积温度为400～600℃、沉积全压为0.8～3.0Pa、氧气分压为2％～6％。
2.如权利要求1所述的具有蓝宝石表层的玻璃镜片的制备方法,其特征在于:控制沉积温度为400～500℃。
3.如权利要求1所述的具有蓝宝石表层的玻璃镜片的制备方法,其特征在于:所述氧气分压为4％～6％。
4.如权利要求1所述的具有蓝宝石表层的玻璃镜片的制备方法,其特征在于:所述靶材为纯度为99.99％以上的非掺杂高纯金属铝。
5.如权利要求1-4任一所述的具有蓝宝石表层的玻璃镜片的制备方法,其特征在于:所述氧气纯度为99.99％以上，所述氮气的纯度为99.99％。
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