[发明专利]蒸发源装置及蒸镀装置在审
申请号: | 201510300073.7 | 申请日: | 2015-06-03 |
公开(公告)号: | CN104846338A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 矫士博 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸发 装置 | ||
技术领域
本发明涉及蒸镀设备技术领域,特别是涉及一种蒸发源装置及蒸镀装置。
背景技术
近年来,有机电致发光显示器(OLED)作为一种新型的平板显示逐渐受到更多的关注。由于其具有主动发光、发光亮度高、分辨率高、宽视角、响应速度快、低能耗以及可柔性化等特点,成为有可能代替液晶显示的下一代显示技术。
蒸镀装置是应用于薄膜制备领域的实验和生产设备,在有机电致发光二极管(OLED)、有机太阳能电池(OPV)、有机场效应晶体管(OFET)等有机光电领域被广泛使用。
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)通过蒸镀有机材料来制作构成OLED显示器件的载流子传输层和有机发光层。现今的OLED蒸镀装置的蒸发源分为点形蒸发源和线形蒸发源。在蒸发源装置中蒸镀的有机蒸镀材料主要分两种,一种是升华型有机材料,另一种则是熔融型有机材料。其中,升华型有机材料主要是将有机材料直接加热,有机材料升华为气态再冷却于基板上形成有机膜层;熔融型有机材料在加热后则先融为液态再升温为气态,最后再冷却于基板上形成有机膜层。
如图1所示,图1为现有的蒸发源装置结构示意图,蒸发源装置包括盛放有机材料的坩埚01,对坩埚01进行加热,实现坩埚01内的有机材料的蒸镀,由于对坩埚01加热仅是对坩埚01四周的坩埚壁进行加热,对于坩埚01的坩埚槽内的有机材料而言,有机材料本身的导热性较差,且热传导路径较长,易造成传热不均,特别对于大尺寸的蒸发源来说,温度分布不均的现象更明显,进而造成有机材料的蒸镀的镀率稳定性不足及良率降低等问题。
如图1所述,对于升化型的OLED有机材料,进行蒸镀的过程中,坩埚内贴近坩埚壁的有机材料由于先受热,会比较早的升华掉,而中心部分的有机材料受热较慢会逐渐形成直立岛状结构02,而为了维持稳定的蒸镀速率,蒸发源会不断升高温度,这就会使坩埚内与坩埚的底部接触的有机材料受热较多,导致有机材料分解或劣化,造成材料的浪费和污染,甚至影响OLED器件的性能。
发明内容
本发明的目的是提供一种蒸发源装置及蒸镀装置,用以提高材料受热的均匀性,进而提高材料蒸镀的良率,提高显示器件的性能。
为达到上述目的,本发明提供了如下技术方案:
本发明提供了一种蒸发源装置,包括:
一端开口的坩埚;
位于所述坩埚内、对所述坩埚内的材料进行搅拌的搅拌单元;
驱动所述搅拌单元旋转的驱动装置。
本发明提供的蒸发源装置,通过设置的搅拌单元,可以对坩埚内的材料进行搅拌,使得材料与坩埚的侧壁的接触面积一直保持最大,减少材料局部受热较多的情况的发生,进而减少材料分解或劣化的现象的发生。
所以,本发明提供的蒸发源装置,可以提高材料受热的均匀性,进而提高材料蒸镀的良率,提高显示器件的性能。
在一些可选的实施方式中,所述搅拌单元包括:连接杆和至少两个叶片,所述连接杆的一端与所述驱动装置可旋转连接,另一端与所述至少两个叶片固定连接。
在一些可选的实施方式中,所述连接杆的轴线与所述坩埚的轴线重合,所述至少两个叶片绕所述连接杆的轴线旋转;或所述连接杆的轴线与所述坩埚的轴线不重合,所述至少两个叶片绕所述坩埚的轴线旋转。
在一些可选的实施方式中,上述蒸发源装置还包括:设置于所述坩埚的开口端、用于防止坩埚内的材料喷溅的遮挡网。
在一些可选的实施方式中,所述搅拌单元包括:传动杆,所述传动杆的一端与所述驱动装置可旋转连接,另一端与所述遮挡网的一侧壁固定连接,所述连接杆的一端与所述遮挡网的底部连接。
在一些可选的实施方式中,所述至少两个叶片与所述连接杆之间焊接或通过螺栓连接。
在一些可选的实施方式中,所述至少两个叶片和所述连接杆的材料为金属钛、钨、不锈钢或陶瓷。
在一些可选的实施方式中,所述驱动装置为电机。
在一些可选的实施方式中,所述搅拌单元的转速为0~100转/分钟。
本发明还提供了一种蒸镀装置,包括上述任一项所述的蒸发源装置。由于上述蒸发源装置,可以提高材料受热的均匀性,进而提高材料蒸镀的良率,提高显示器件的性能,所以,本发明提供的蒸镀装置具有较好的使用性能。
附图说明
图1为现有的蒸发源装置结构示意图;
图2为本发明实施例提供的蒸发源装置的第一种结构示意图;
图3为本发明实施例提供的蒸发源装置的第二种结构示意图;
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