[发明专利]退火氧化设备

权利要求书

1.一种退火氧化设备，其特征在于，包括：

炉体，一端设有进料口，另一端设有出料口，所述炉体包括相互连通的加热区和冷却区，所述加热区的数量为多个，所述冷却区靠近所述出料口；所述进料口处设有进料挡板，所述出料口处设有出料挡板，所述进料挡板和所述出料挡板均与所述炉体连接；

传送装置，位于所述炉体内部，自所述进料口向所述出料口延伸；

进气装置，位于所述炉体内部并与所述炉体连通；

加热装置，位于所述炉体外部，用于升高所述加热区内的温度，所述加热装置的数量为多个，多个所述加热装置对称地设置在所述炉体外部；

冷却装置，位于所述炉体外部，用于控制所述冷却区内的降温速度，所述冷却装置的数量为多个，多个所述冷却装置对称地设置在所述炉体外部；

保温层，包覆所述炉体的外壁，并位于所述加热装置和所述冷却装置的外部；以及

控制装置，分别与所述传送装置、所述加热装置、所述进气装置和所述冷却装置连接。

2.根据权利要求1所述的退火氧化设备，其特征在于，还设有降温装置，所述降温装置位于所述保温层外部，所述降温装置与所述控制装置连接。

3.根据权利要求1所述的退火氧化设备，其特征在于，每个所述加热区均设有所述加热装置。

4.根据权利要求1所述的退火氧化设备，其特征在于，所述加热装置为电阻丝或红外灯管。

5.根据权利要求1所述的退火氧化设备，其特征在于，所述炉体的材质为石英。

6.根据权利要求1-5任一项所述的退火氧化设备，其特征在于，所述传送装置为导轨或传送带。

7.根据权利要求6所述的退火氧化设备，其特征在于，所述导轨或传送带的材质为非金属耐高温材料。