[发明专利]一种无氟溶胶‑凝胶法合成Tl‑2212超导薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510277546.6 申请日: 2015-05-27
公开(公告)号: CN104909722B 公开(公告)日: 2017-07-28
发明(设计)人: 谢清连;蒋艳玲;黄国华;唐平英;方雨晴;覃淑娇;罗玲秀 申请(专利权)人: 广西师范学院
主分类号: H01L39/24 分类号: H01L39/24;C04B35/01;C04B35/45;C04B35/624
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 代理人: 靳浩
地址: 530001 广西壮族自*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 一种 溶胶 凝胶 合成 tl 2212 超导 薄膜 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种无氟溶胶-凝胶法合成T1-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,以摩尔比为2.8-3.5∶2∶1∶2.5-2.8的乙酸铊、乙酸钡、乙酸钙和乙酸铜为起始原料分别添加络合剂及溶剂制备溶液A、溶液B、溶液C和溶液D,将上述溶液混合后加入乙酸钡摩尔数20-45倍量的甲酰胺制得TBCCO溶胶,然后将TBCCO溶胶制成凝胶膜,将凝胶膜进行热分解处理制成先驱膜,将先驱膜与含有铊源的陪烧靶高温烧结,即得T1-2212超导薄膜,其中,在制备溶液A、溶液B和溶液D的过程中,分别添加了丙酸,添加量为:乙酸铊和丙酸的摩尔比为1∶3.8-5;乙酸钡和丙酸的摩尔比为1∶2.6-3.6;乙酸铜和丙酸的摩尔比为1∶2-2.6。

2.如权利要求1所述的无氟溶胶-凝胶法合成T1-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,

在制备溶液A的过程中,所述的络合剂及溶剂为二乙烯三胺和甲醇,添加量为乙酸铊、丙酸、二乙烯三胺和甲醇的摩尔比为1∶3.8-5∶3-4∶100-140,在70℃下搅拌80min,得到溶液A;

在制备溶液B的过程中,所述的络合剂及溶剂为乳酸和甲醇,添加量为乙酸钡、丙酸、乳酸和甲醇的摩尔比为1∶2.6-3.6∶2-2.8∶30-50,在70℃下搅拌80min,得到溶液B;

在制备溶液C的过程中,所述的络合剂及溶剂为乳酸和甲醇,添加量为乙酸钙、乳酸和甲醇的摩尔比为1∶3.5-4.5∶100-150,在50℃下搅拌,得到溶液C;

在制备溶液D的过程中,所述的络合剂及溶剂为三乙烯四胺和甲醇,添加量为乙酸铜、丙酸、三乙烯四胺、甲醇的摩尔比为1∶2-2.6∶0.4-0.6∶50-100混合,在70℃下搅拌80min,得到溶液D;

将溶液A、B、C、D和上述摩尔比的甲酰胺混合,在70℃下搅拌3h,得到TBCCO溶胶。

3.如权利要求2所述的无氟溶胶-凝胶法合成T1-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,将TBCCO溶胶制成凝胶膜的具体步骤为:

将TBCCO溶胶置于铝酸镧单晶衬底材料上,采用旋转涂层法获得湿润的凝胶膜,将所述凝胶膜放入真空干燥箱中在80℃下干燥1h,然后在空气或其他气体中在120℃下干燥1h,得到凝胶膜。

4.如权利要求3所述的无氟溶胶-凝胶法合成T1-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,将凝胶膜进行热分解处理制成先驱膜的具体步骤为:

将凝胶膜置于石英管中,再将石英管放入高温炉中进行热分解,通入湿氩气,同时,高温炉以3-5℃/min的速率升至370℃,保持20min,然后关闭湿氩气,通入湿氧气,在370℃下保持10min,再以5-10℃/min的速率升温至450℃并保持10min,随后自然降温至室温,得到薄的先驱膜;重复一次,得到厚的先驱膜。

5.如权利要求4所述的无氟溶胶-凝胶法合成T1-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,所述含有铊源的陪烧靶的具体制备步骤为:

用BaO2、CaO和CuO按照摩尔比2∶2∶3配合研磨30分钟,在890-940℃下的流动氧气氛中灼烧5-10小时,冷却后再研磨30分钟,在890-940℃下的流动氧气氛中灼烧5-10小时,制成BaCaCuO粉末,将所述BaCaCuO粉末与Tl2O3粉末混合研磨30分钟后压片,用坩埚密封后在850℃下流动氧气氛中灼烧2小时,冷却后补充Tl2O3粉末再研磨30分钟并压片,在850℃下的流动氧气氛中灼烧2小时,制成含有铊源的陪烧靶。

6.如权利要求5所述的无氟溶胶-凝胶法合成Tl-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,所述高温烧结的具体步骤为:

将先驱膜放在含有铊源的陪烧靶上,并密闭于刚玉坩埚内,再将所述刚玉坩埚置于石英管中,在101KPa的氧气环境下进行高温热处理,使厚先驱膜转变为Tl-2212超导薄膜,其中,升温速率为8℃/min,退火温度为850℃,退火时间为1h;自然降温后,即得到临界温度为105.5K的Tl-2212超导薄膜。

7.如权利要求6所述的无氟溶胶-凝胶法合成Tl-2212超导薄膜的制备方法,其特征在于,所述湿氩气的饱和水蒸汽压为17.54-49.65mmHg,其流速为50-100mL/min。

8.如权利要求7所述的无氟溶胶-凝胶法合成Tl-2212超导薄膜的制备方法,所述湿氧气饱和水蒸汽压为17.54-49.65mmHg,其流速为100-150mL/min。

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