[发明专利]一种用于校准矢量网络分析仪的校准装置及校准方法有效
| 申请号： | 201510232267.8 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN105044637B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 魏连成;薛龙;曹金龙 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 陈永宁 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 校准 电子标准 电子校准 矢量网络分析 校准装置 端口数 多端口 单刀多掷微波开关 微波毫米波 元器件特性 参数测试 插入损耗 连接方式 校准过程 大端口 | ||
1.一种用于校准矢量网络分析仪的校准方法，其特征在于，包括：
根据校准时所使用的校准装置的端口，上传对应电子标准的定标数据至矢量网络分析仪主机，通过所述定标数据分别内插出校准频点对应的幅度和相位校准数据；
分别在所述矢量网络分析仪的各待校准端口进行单端口反射电子校准，提取出各待校准端口的方向性误差EDi、源匹配ESi和反射跟踪误差ERi：
其中，Γk1、Γk2、Γk3是与矢量网络分析仪待校准端口i相连的校准装置端口k中3个反射标准的内插校准数据，Siim1、Siim2和Siim3是所述矢量网络分析仪端口i对应的未修正的测量值；
设校准端口数为N，所述校准装置的端口1与矢量网络分析仪的端口j相连，在矢量网络分析仪的端口j和其他待校准端口间分别进行直通电子校准，共进行(N-1)次直通电子校准，提取出所述矢量网络分析仪的端口j和其他所有待校准端口间相应的负载匹配误差和传输跟踪误差，当矢量网络分析仪的端口i与校准装置的端口k连接时，矢量网络分析仪端口j和端口i间的负载匹配误差ELji、ELij和传输跟踪误差ETji、ETij通过下面等式计算得到：
其中，S11k、S121k、S21k1和S22k是所述校准装置端口1和端口k间直通标准的内插校准数据；Siim、Sijm、Sjim和Sjjm是所述矢量网络分析仪对应的端口i和端口j间未修正的S参数测量结果；
通过下面等式计算得到其它未校准端口间的负载匹配误差：
ELki＝ELkj＝ELk(i≠j)
通过下式确定所述其它未校准端口间的传输跟踪误差：
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