[发明专利]提高启动工序效率的气体激光装置

说明书

技术领域

本发明涉及气体激光装置。

背景技术

气体激光装置的输出效率随着封装到容器内的激光气体的纯度的下降而下降。气体激光装置的容器被形成为大体可密闭的，但是周围气体介质的气体还是会侵入到容器内。因此，为了提高激光气体的纯度，将容器内的气体排出到外部的同时还执行将激光气体再次填充到容器中的激光气体的更换。

JPH02-65187A公开了一种将外壳内的激光气体进行周期更换的激光气体更换方法。根据该激光气体更换方法，外壳内的激光气体进行排气直到到达预定的压力为止，之后在使排气工序继续预定时间后结束排气工序。

JP2561510U公开一种具备气体泄漏检测装置的气体激光装置。该气体泄漏检测装置在气体激光装置停止期间发生气体泄漏时检测到该情况。具体地说，JP2561510U的气体泄漏检测装置在切断电源前存储激光气体的压力，将再次接通电源时的激光气体的压力和所存储的激光气体的压力进行比较，根据该比较结果来检测有无发生气体泄漏。

但是，在JPH02-65187A的激光气体更换方法中，以固定的周期更换激光气体，因此在不需要更换激光气体的时候也进行了激光气体的更换。所以，激光气体的消耗量增大，气体激光装置的运用成本也增大。另外，在直到激光气体的更换结束的期间，需要使气体激光装置待机，所以存在气体激光装置的启动时间变长的倾向。另外，在JP2561510U公开的气体激光装置中，对于使气体激光装置的启动工序高效化的这点没有任何的考虑。

因此，要求一种气体激光装置，即根据需要执行激光气体的更换，由此缩短启动时间的同时也能够削减激光气体的消耗量。

发明内容

根据本申请的第一个发明，提供一种具备封装有激光气体的容器和将激光气体作为激发介质而使激光振荡的激光振荡器的气体激光装置，其具备：压力检测部，其检测上述容器内的气体的压力；排气部，其排出上述容器内的气体；供气部，其向上述容器内供给激光气体；压力存储部，其即使电源被切断也保持存储信息，存储通过上述压力检测部检测出的上述压力；比较部，其将通过上述压力存储部存储的在该气体激光装置紧急停止时的上述容器内的气体压力和通过上述压力检测部检测出的在紧急停止后再次启动该气体激光装置时的上述容器内的气体压力进行比较；判定部，其根据上述比较部的比较结果，判定是否应该执行上述容器内的气体的排出和向上述容器内的上述激光气体的供给。

根据本申请的第二个发明，在第一个发明的气体激光装置中，上述判定部根据上述比较部的比较结果，决定排出上述容器内的气体的排气工序的执行方式。

根据本申请的第三个发明，在第二个发明的气体激光装置中，上述判定部决定上述排气工序的上述容器内的激光气体的压力目标值、排气次数、排气时间中的至少一个。

根据本申请的第四个发明，在第一个～第三个的任意一个发明的气体激光装置中，上述压力存储部周期地存储上述容器内的气体的压力。

根据本申请的第五个发明，在第一个～第三个的任意一个发明的气体激光装置中，还具备预备电源装置，其在提供给该气体激光装置的主电力被切断时对上述压力检测部供给预备电力，上述压力检测部在上述主电力刚被切断后就检测上述容器内的气体的压力。

根据本申请的第六个发明，在第五个发明的气体激光装置中，还具备检测上述主电力已下降的电力下降检测器，上述电力下降检测器根据提供给该气体激光装置的电力、电流以及电压中的至少一个来检测上述主电力已被切断。

根据本申请的第七个发明，在第六个发明的气体激光装置中，在刚通过上述电力下降检测器检测出上述主电力已被切断后，就通过上述压力存储部存储通过上述压力检测部检测出的上述容器内的气体的压力。

通过附图所表示的本发明的例示的实施方式的详细说明，更加明确上述以及其他的本发明的目的、特征以及优点。

附图说明

图1是表示第一实施方式的气体激光装置的结构的图。

图2是图1所示的气体激光装置的控制装置的功能框图。

图3A是用于说明启动图1所示的气体激光装置的启动工序的图形。

图3B是用于说明启动图1所示的气体激光装置的启动工序的图形。

图4是表示启动图1所示的气体激光装置的启动工序的流程的流程图。

图5是表示在第一实施方式的气体激光装置中，取得紧急停止时的气体压力时的处理的流程的流程图。

图6是表示第二实施方式的气体激光装置的结构的图。