[发明专利]提高启动工序效率的气体激光装置

权利要求书

1.一种气体激光装置，具备封装有激光气体的容器和将激光气体作为激发介质使激光振荡的激光振荡器，该气体激光装置的特征在于，具备：

压力检测部，其检测上述容器内的气体的压力；

排气部，其排出上述容器内的气体；

供气部，其向上述容器内供给激光气体；

压力存储部，其即使电源被切断也保持存储信息，存储通过上述压力检测部检测出的上述压力；

比较部，其将通过上述压力存储部存储的在该气体激光装置紧急停止时的上述容器内的气体压力和通过上述压力检测部检测出的在紧急停止后再启动该气体激光装置时的上述容器内的气体压力进行比较；

判定部，其根据上述比较部的比较结果，判定是否应该执行上述容器内的气体的排出和向上述容器内的上述激光气体的供给。

2.根据权利要求1所述的气体激光装置，其特征在于，

上述判定部根据上述比较部的比较结果来决定排出上述容器内的气体的排气工序的执行方式。

3.根据权利要求2所述的气体激光装置，其特征在于，

上述判定部决定上述排气工序的上述容器内的激光气体的压力目标值、排气次数、排气时间中的至少一个。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的气体激光装置，其特征在于，

上述压力存储部周期地存储上述容器内的气体压力。

5.根据权利要求1～3中的任意一项所述的气体激光装置，其特征在于，

还具备：预备电源装置，其在对该气体激光装置供给的主电力被切断时对上述压力检测部供给预备电力，

上述压力检测部，在上述主电力刚被切断后就检测上述容器内的气体的压力。

6.根据权利要求5所述的气体激光装置，其特征在于，

还具备检测上述主电力已下降的电力下降检测器，

上述电力下降检测器根据向该气体激光装置供给的电力、电流以及电压中的至少一个，检测上述主电力已被切断。

7.根据权利要求6所述的气体激光装置，其特征在于，

通过上述电力下降检测器检测出上述主电力已被切断后，通过上述压力存储部存储由上述压力检测部检测出的上述容器内的气体的压力。