[发明专利]气动传感器

说明书

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种气动传感器。

背景技术

随着科技及人们生活需求的不断发展，气动传感器在生活中的多个方面都得到了应用。但是现有的气动传感器存在制作成本高、制作工艺复杂、输出信号偏小、对外接信号处理电路要求也较高的问题，而且还很容易受到外界振动的干扰。

发明内容

本发明的发明目的是针对现有技术的缺陷，提供了一种气动传感器，用于解决现有技术中的气动传感器的输出信号小、对外接信号处理电路要求高、易受外界振动干扰的问题。

本发明提供一种气动传感器，包括：屏蔽壳、在屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元；屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过；传感单元包括：至少一层固定层和一层自由层；至少一层固定层固设在屏蔽壳上；自由层具有固定部和摩擦部；自由层的固定部与至少一层固定层或屏蔽壳固定连接；自由层通过摩擦部与至少一层固定层和/或屏蔽壳摩擦；其中，至少一层固定层和/或屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。

进一步，气流的进气方向平行于至少一层固定层所在平面或者气流的进气方向垂直于至少一层固定层所在平面。

进一步，传感单元包括：一层固定层和一层自由层；固定层包含电极，绝缘层设置在电极与屏蔽壳内侧表面之间；自由层通过摩擦部与固定层和/或屏蔽壳摩擦，电极和屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。

进一步，固定层为电极，或者，固定层为一侧表面镀有电极的高分子聚合物绝缘层。

进一步，至少一层固定层为两层，分别为第一固定层和第二固定层；第一固定层和第二固定层分离固设在屏蔽壳上，自由层位于第一固定层和第二固定层之间；第一固定层包含第一电极，绝缘层设置在第一电极与屏蔽壳内侧表面之间；自由层的固定部与第一固定层或第二固定层固定连接，自由层通过摩擦部与第一固定层和/或第二固定层摩擦。

进一步，第一固定层为第一电极，或者，第一固定层为一侧表面镀有第一电极的第一高分子聚合物绝缘层。

进一步，第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，第一电极和屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。

进一步，第二固定层包含第二电极，第二电极与屏蔽壳内侧表面接触，第一电极和屏蔽壳为气动传感器的信号输出端。

进一步，第二固定层包含第二电极，绝缘层还设置在第二电极与屏蔽壳内侧表面之间；第一电极和第二电极为气动传感器的信号输出端。

进一步，第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，第一电极由两个叉指电极组成，两个叉指电极为气动传感器的信号输出端。

进一步，第二固定层包含第二电极，绝缘层还设置在第二电极与屏蔽壳内侧表面之间；第一电极由两个叉指电极组成，第二电极由两个叉指电极组成，四个叉指电极为气动传感器的信号输出端。

进一步，第二固定层中间开设有与通气口相对的集风口，第一固定层与屏蔽壳之间形成两个与通气口相对的出风口，自由层由对称的两个部分组成，自由层的固定部与所述屏蔽壳固定连接。

进一步，第二固定层为第二电极，或者，第二固定层为一侧表面镀有第二电极的第二高分子聚合物绝缘层。

进一步，传感单元为多个，屏蔽壳内还设置有至少一个隔板，多个传感单元通过隔板隔开，多个传感单元并联连接。

进一步，传感单元为多个，多个传感单元通过绝缘层隔开，多个传感单元并联连接。

进一步，自由层的固定部通过两个垫片与至少一层固定层的一边或对角固定连接，或者自由层的固定部通过四个垫片与至少一层固定层的四个角固定连接。

进一步，屏蔽壳的材料为金属材料，屏蔽壳接地。

进一步，隔板与屏蔽壳的材料相同。

进一步，在屏蔽壳的通气口设置透气屏蔽层，透气屏蔽层为网状金属层或带孔洞的金属层。

进一步，自由层经过预热压和预固化处理，使得自由层在迎风处具有弯曲结构或弯折结构。

进一步，气动传感器的摩擦界面的两层相对的面中至少一面设有微纳结构。