[发明专利]气动传感器

权利要求书

1.一种气动传感器，其特征在于，包括：屏蔽壳、在所述屏蔽壳的部分或全部内侧表面设置的绝缘层、及至少一个传感单元；

所述屏蔽壳上开设有至少两个通气口，气流在通气口之间通过；

所述传感单元包括：至少一层固定层和一层自由层；所述至少一层固定层固设在所述屏蔽壳上；所述自由层具有固定部和摩擦部；所述自由层的固定部与所述至少一层固定层或所述屏蔽壳固定连接；所述自由层通过摩擦部与所述至少一层固定层和/或所述屏蔽壳摩擦；

其中，所述至少一层固定层为所述气动传感器的信号输出端，或者，所述至少一层固定层和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。

2.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，气流的进气方向平行于所述至少一层固定层所在平面或者气流的进气方向垂直于所述至少一层固定层所在平面。

3.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述传感单元包括：一层固定层和一层自由层；

所述固定层包含电极，所述绝缘层设置在所述电极与所述屏蔽壳内侧表面之间；

所述自由层通过摩擦部与所述固定层和/或所述屏蔽壳摩擦，所述电极和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。

4.根据权利要求3所述的气动传感器，其特征在于，所述固定层为电极，或者，所述固定层为一侧表面镀有电极的高分子聚合物绝缘层。

5.根据权利要求1所述的气动传感器，其特征在于，所述至少一层固定层为两层，分别为第一固定层和第二固定层；所述第一固定层和所述第二固定层分离固设在所述屏蔽壳上，所述自由层位于所述第一固定层和所述第二固定层之间；

所述第一固定层包含第一电极，所述绝缘层设置在所述第一电极与所述屏蔽壳内侧表面之间；

所述自由层的固定部与所述第一固定层或第二固定层固定连接，所述自由层通过摩擦部与所述第一固定层和/或所述第二固定层摩擦。

6.根据权利要求5所述的气动传感器，其特征在于，所述第一固定层为第一电极，或者，所述第一固定层为一侧表面镀有第一电极的第一高分子聚合物绝缘层。

7.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，所述第一电极和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。

8.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层包含第二电极，所述第二电极与所述屏蔽壳内侧表面接触，所述第一电极和所述屏蔽壳为所述气动传感器的信号输出端。

9.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层包含第二电极，所述绝缘层还设置在所述第二电极与所述屏蔽壳内侧表面之间；

所述第一电极和所述第二电极为所述气动传感器的信号输出端。

10.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层为第二高分子聚合物绝缘层，所述第一电极由两个叉指电极组成，所述两个叉指电极为所述气动传感器的信号输出端。

11.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层包含第二电极，所述绝缘层还设置在所述第二电极与所述屏蔽壳内侧表面之间；

所述第一电极由两个叉指电极组成，所述第二电极由两个叉指电极组成，四个叉指电极为所述气动传感器的信号输出端。

12.根据权利要求6所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层中间开设有与所述通气口相对的集风口，所述第一固定层与所述屏蔽壳之间形成两个与通气口相对的出风口，所述自由层由对称的两个部分组成，自由层的固定部与所述屏蔽壳固定连接。

13.根据权利要求8、9、11或12所述的气动传感器，其特征在于，所述第二固定层为第二电极，或者，所述第二固定层为一侧表面镀有第二电极的第二高分子聚合物绝缘层。

14.根据权利要求1-12任一项所述的气动传感器，其特征在于，所述传感单元为多个，所述屏蔽壳内还设置有至少一个隔板，多个传感单元通过隔板隔开，所述多个传感单元并联连接。

15.根据权利要求13所述的气动传感器，其特征在于，所述传感单元为多个，所述屏蔽壳内还设置有至少一个隔板，多个传感单元通过隔板隔开，所述多个传感单元并联连接。