[发明专利]一种用于测量薄膜性能的鼓膜装置

权利要求书

1.本发明提出了一种用于测量薄膜力学性能的鼓膜装置，包括光学显微镜、炉体、隔热层、内胆、盖子、观测窗、薄板、薄膜、控制器、加压装置、加热器、压力传感器、温度传感器、操控面板、导线、第一管路、第二管路、气流阀；

其中，薄板设置于炉体内部的内胆上靠近炉体上边缘处，使得薄板的边缘靠近炉体边缘，盖子位于薄板上方，盖子内部具有凸缘，使得当盖子与炉体通过螺纹装配后，盖子内部的凸缘将薄板与内胆边缘压合在一起从而得以固定，并且薄板上表面与盖子下表面之间具有空隙；

加热器置于炉体底部，控制器通过导线与炉体内的加热器、温度传感器、压力传感器连接，以控制炉体内的温度并且将测得的炉体内的压力数据和温度数据输出至所述控制器；

并且，控制器通过第一管路与炉体内部相连接，通过第二管路与炉体外的加压装置连接，控制器具有气流阀和操控面板，气流阀用于控制加压装置通过第二管路和第一管路向炉体内部加压，使得当气流阀关闭时，炉体内压力保持恒定且无法通过加压装置向炉体内输送气体；

操控面板可以显示压力传感器和温度传感器所测得的炉体内的压力和温度数值，并可以通过操作操控面板来控制加热器的工作；

所述盖子具有用于观测薄板变化的透明的观测窗，光学显微镜置于透明的观测窗上方用于观测薄板上鼓膜的三维形貌特征。

2.如权利要求1所述的鼓膜装置，其特征在于，所述薄板上制备有薄膜，所述薄膜与薄板固定地结合在一起。

3.如权利要求1所述的鼓膜装置，其特征在于，可在所述薄板的下表面与内胆边缘的接触部位设置隔热垫圈。

4.如权利要求1所述的鼓膜装置，其特征在于，可在所述薄板的上表面与盖子的凸缘接触的部位设置橡胶垫圈。

5.如权利要求1所述的鼓膜装置，其特征在于，可在所述薄板的上表面与盖子的凸缘接触的部位设置四氟垫圈。

6.如权利要求2所述的鼓膜装置，其特征在于，所述薄板上制备有薄膜，所述薄膜的上表面制备有用于观测其三维变形特征的光栅。

7.如权利要求1所述的鼓膜装置，其特征在于，所述内胆可由紫铜制成。

8.如权利要求1所述的鼓膜装置，其特征在于，所述内胆可由黄铜制成。