[发明专利]阳极自冷却等离子体源

权利要求书

1.一种阳极自冷却等离子体源，其特征在于：包括阴极（1）、阳极（2）和外壳（4），所述阴极（1）和阳极（2）分别固定设置在外壳（4）的两端，阴极（1）、阳极（2）和外壳（4）组合形成气流通道（7），所述阳极（2）内部设置有冷却通道（5），所述阳极（2）上设置有分别与冷却通道（5）相通的进气口（9）和出气口（10），所述冷却通道（5）通过出气口（10）与气流通道（7）连通，所述气流通道（7）与阳极（2）的电弧通道（6）连通，工作时，工作气体依次经冷却通道（5）和气流通道（7）后进入电弧通道（6）。

2.如权利要求1所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述阴极（1）与阳极（2）之间固定设置有中间段（3），所述气流通道（7）由阴极（1）、阳极（2）、中间段（3）和外壳（4）组合形成，所述中间段（3）内部开设有过渡电弧通道（8），所述过渡电弧通道（8）的两端分别与气流通道（7）和阳极（2）的电弧通道（6）相通。

3.如权利要求2所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述中间段（3）上设置有与过渡电弧通道（8）相通的锥形口，所述阴极（1）的端部位于锥形口内，且阴极（1）的端部与锥形口之间有间隙。

4.如权利要求2所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述阴极（1）与外壳（4）之间设置有绝缘体a（11），所述中间段（3）与阳极（2）之间设置有绝缘体b（12）。

5.如权利要求2或4所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述中间段（3）的数量至少为二个，且相邻两中间段（3）之间设置有绝缘体b（12）。

6.如权利要求1或2所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述外壳（4）为筒形，沿筒形外壳（4）轴心线方向的筒壁内开设有进气通道（13），进气通道（13）与进气口（9）连通。

7.如权利要求1所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述冷却通道（5）内设置有冷却结构（14），所述冷却结构（14）是由所述冷却通道（5）环状分布在阳极（2）内部形成的冷却结构（14）。

8.如权利要求1所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述冷却通道（5）内设置有冷却结构（14），所述冷却结构（14）是由所述冷却通道（5）螺旋状分布在阳极（2）内部形成的冷却结构（14）。

9.如权利要求7或8所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述冷却结构（14）是由所述冷却通道（5）呈竖直螺旋状分布在阳极（2）内部形成的冷却结构（14）。

10.如权利要求7或8所述的阳极自冷却等离子体源，其特征在于：所述冷却结构（14）是由所述冷却通道（5）呈水平螺旋状分布在阳极（2）内部形成的冷却结构（14）。