[发明专利]构造物的表面检查装置以及表面检查方法

权利要求书

1.一种构造物的表面检查装置，其特征在于，具备：

压力变化发生单元，其在沿作为检查对象的构造物的表面的方向移动，使所述构造物的表面发生压力变化，该作为检查对象的构造物在表面设有根据应力发光的应力发光构造部；

拍摄装置，其与所述压力变化发生单元一体移动，对所述构造物的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄；以及

缺陷检测部，其基于通过所述拍摄装置得到的所述构造物的图像，检测所述构造物的表面的缺陷。

2.根据权利要求1所述的构造物的表面检查装置，其特征在于，

具备在沿所述构造物的表面的方向移动的移动体，

所述压力变化发生单元是与所述拍摄装置一起搭载在所述移动体上的压力变化发生装置。

3.根据权利要求1所述的构造物的表面检查装置，其特征在于，

所述压力变化发生单元是移动体，该移动体搭载所述拍摄装置，通过在沿着所述构造物的表面的方向移动从而在行进方向前方产生的压力变化作用于所述构造物的表面。

4.根据权利要求1所述的构造物的表面检查装置，其特征在于，

所述应力发光构造部是在所述构造部的表面形成的应力发光材料含有层。

5.一种构造物的表面检查装置，其特征在于，具备：

压力变化发生装置，其在沿作为检查对象的构造物的表面的方向移动，使所述构造物的表面发生压力变化，该作为检查对象的构造物在表面设有根据应力发光的应力发光构造部；

拍摄装置，其与所述压力变化发生装置一体移动，对所述构造物的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄；以及

缺陷检测部，其基于通过所述拍摄装置得到的所述构造物的图像，检测所述构造物的表面的缺陷。

6.一种构造物的表面检查方法，其特征在于，具有：

使表面设有根据应力发光的应力发光构造部的作为检查对象的构造物的表面发生压力变化的步骤；

对所述构造物的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄的步骤；以及

基于所述构造物的表面拍摄而得到的图像，检测所述构造物的表面的缺陷的步骤。

7.一种构造物的表面检查方法，其特征在于，具有：

在作为检查对象的构造物的表面配置根据应力发光的应力发光构造部的步骤；

使所述构造物的表面发生压力变化的步骤；

对所述构造物的表面的产生了压力变化的区域进行拍摄的步骤；以及

基于所述构造物的表面拍摄而得到的图像，检测所述构造物的表面的缺陷的步骤。