[发明专利]一种太阳能电池的多层减反膜无效
申请号: | 201510040360.9 | 申请日: | 2015-01-27 |
公开(公告)号: | CN104659118A | 公开(公告)日: | 2015-05-27 |
发明(设计)人: | 蒋建宝 | 申请(专利权)人: | 无锡赛晶太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L31/0216 | 分类号: | H01L31/0216 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 贺翔 |
地址: | 214251 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 多层 减反膜 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种太阳能电池的多层减反膜。
背景技术
早期的太阳能电池生产中一般使用TiO2 作为光学减反膜。但TiO2 对硅材料没有钝化作用,使用TiO2 作为减反膜的太阳能电池的开路电压较低,效率难以提高。因此渐渐地被同时具有很好减反效果和钝化作用的SiNx 减反膜所取代。因此在目前的太阳能电池生产中大多使用SiNx 作为减反膜。但SiNx 减反膜生产成本较高,而且使用SiNx 作为减反膜的组件在封装之后的反射率较高。
发明内容
本发明为了解决现有技术的问题,提供了一种生产成本低、工艺简单、减反效果好的太阳能电池的多层减反膜。
本发明所述的一种太阳能电池的多层减反膜,包括太阳能电池层,在太阳能电池层上、下均设置有SiO2 膜,在太阳能电池层上、下的SiO2 膜上均设置减反膜;所述SiO2 膜厚度为3~60nm ;所述减反膜厚度为30 ~ 120nm,并且是折射率为2.3 ~ 2.5 的透光膜。
进一步改进,所述减反膜是TiO2/SiO2 双层膜。
进一步改进,所述减反膜是MgF2/TiO2/SiO2、SiC/TiO2/SiO2、SiNx/TiO2/SiO2、ZnO/TiO2/SiO2 、Al2Ox/TiO2/SiO2三层膜的形式中的一种。
进一步改进,所述上下的减反膜上面覆盖EVA 、玻璃封装。
与现有技术相比,本发明有益效果在于:本发明采用SiO2 加TiO2 或其它折射率在2.3-2.5 左右的单层或多层光学减反膜,使TiO2 为基础的减反膜具有钝化作用,同时又能兼顾组件封装后的减反效果。本发明能够寻找新的技术途径代替当前工业常用的SiNx 单层减反膜,采用上述多层膜结构,同时实现光学匹配和电学钝化作用,减反钝化效果可以与SiNx 媲美。而且该多层膜结构的制备工艺简单,设备造价低,是一种比较理想的结构。另外,该多层膜的结构是一种复合结构,其上下结构一样,增加了钝化作用以及减反效果。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,一种太阳能电池的多层减反膜,包括太阳能电池层1,在太阳能电池层1上、下均设置有SiO2 膜2,在太阳能电池层1上、下的SiO2 膜2上均设置减反膜3;所述SiO2 膜2厚度为3~60nm ;所述减反膜3厚度为30 ~ 120nm,并且是折射率为2.3 ~ 2.5 的透光膜;所述的太阳能电池层1为电池的 P+ 或者N+ 。
从光学原理考虑,对于单层减反膜,当4n1d1 =λ 时,反射率有最小值:
其中n1,d1 分别为减反膜的折射率和厚度,n0 为空气或玻璃的折射率,n2 为衬底
的折射率,λ为减反膜的中心波长。从上式可以看出当时反射率最小。
晶体硅的折射率为n2 = 3.9,封装材料( 玻璃或EVA) 的折射率n0=1.46,则n1=2.38 时反射率R=0。
工业应用中多采用的SiNx 薄膜的折射率在封装之后因折射率一般为2.0 左右,不能达到最佳的减反效果。而TiO2 的折射率一般为2.3,与最佳减反膜的折射率较为匹配,但是TiO2 的仅有减反效果而无钝化效果,因此加上一层很薄的SiO2 起到弥补TiO2 钝化的作用。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的