[发明专利]表面电荷转移掺杂调控Ti‑O薄膜表面能级能态的方法有效
| 申请号： | 201510030104.1 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN104562002B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 万国江;赖欣;李苹;郝国明;黄楠 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/35;C23C22/02 |
| 代理公司： | 成都博通专利事务所51208 | 代理人： | 陈树明 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 电荷 转移 掺杂 调控 ti 薄膜 能级 方法 | ||
1.一种表面电荷转移掺杂调控Ti-O薄膜表面能级能态的方法，其步骤是：
A、利用非平衡磁控溅射系统在抛光的纯钛表面沉积Ti-O薄膜，得到纯钛表面上沉积有Ti-O薄膜的材料；
B、将A步的材料放入浓度为0.04～0.06mol/L的Na2CO3溶液中浸泡30～60min，取出，70～110℃真空干燥；
C、将100份质量的多巴胺与1份质量的聚合引发剂在无氧环境下溶解于pH＝8.0～9.0的三羟甲基氨基甲烷缓冲溶液中，使多巴胺的浓度为0.20～0.26mol/L；
D、将B步得到的材料放入C步的溶液中6～12h，并同时缓慢通入氧气，多巴胺聚合成聚多巴胺并沉积在Ti-O薄膜的表面，取出、晾干，紫外光照30～60min；
E、将D步得到的材料，置于pH＝9～12的碱性溶液中24～48h，超声清洗3～4次，即得。
2.根据权利要求1所述的一种表面电荷转移掺杂调控Ti-O薄膜表面能级能态的方法，其特征在于：所述A步中非平衡磁控溅射系统在抛光的纯钛表面沉积Ti-O薄膜的沉积参数为：直流电流2.5～3.0A、沉积时间8～10min、基体偏压-140～-160V、靶基距75～80mm、Ar/O比为60/13～60/15。
3.根据权利要求1所述的一种表面电荷转移掺杂调控Ti-O薄膜表面能级能态的方法，其特征在于：所述C步中的聚合引发剂是(NH4)2S2O8或H2O2。
4.根据权利要求1所述的一种表面电荷转移掺杂调控Ti-O薄膜表面能级能态的方法，其特征在于：所述E步中的碱性溶液是NaOH溶液、KOH溶液或Ba(OH)2溶液。
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