[发明专利]一种多晶硅还原炉炉体有效
| 申请号： | 201510024663.1 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN104556041A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 任智铨;汪剑;江利;张腾飞;魏婷 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 杨晓玲 |
| 地址： | 221116 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 炉炉体 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原炉炉体，包括底盘（2）、罩扣在底盘（2）上的夹层炉体，其特征在于：所述的夹层炉体内设有隔热罩，隔热罩与夹层炉体内壁（1）之间设有隔离块（6），所述隔热罩由多层金属隔热板（4）构成，多层金属隔热板（4）通过不锈钢螺栓（3）连接在一起，多层金属隔热板（4）之间均设有隔离垫片（9），多层金属隔热板（4）的夹层与炉内腔相通，以保持多晶硅还原过程中多层金属隔热板（4）的夹层与炉内氛围相同。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉炉体，其特征在于：所述的多层金属隔热板（4）的层数为3～5层。
3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉炉体，其特征在于：所述的多层金属隔热板（4）为不锈钢板，每层隔热板的厚度为2～5mm的范围内，隔热板的间距D为3～10mm。
4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉炉体，其特征在于：所述隔离块（6）厚度L为10～15mm 。
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