[发明专利]表面形状的测量方法以及测量装置

权利要求书

1.一种表面形状的测量方法，测量在腔室内在基板的表面生长的膜的表面形状，其特征在于，

使反射镜的角度连续性地或者间歇性地三维地变化，通过所述反射镜，将单一的激光一边改变其入射方向一边提供给膜的表面或者所述基板的表面的预定点的周围的三个照射点，该三个照射点是在所述膜的表面或者所述基板的表面上形成的、在其内侧包括所述预定点的三角形的顶点，

通过光位置传感器检测激光的反射方向，

根据所述反射方向，计算所述三个照射点的各个照射点处的所述表面的倾斜以及包括所述预定点以及所述三个照射点的区域内的所述表面的翘曲。

2.根据权利要求1所述的表面形状的测量方法，其特征在于，

通过高速地控制所述激光的照射定时和所述反射镜的反射角度，使激光向膜的表面入射的入射方向变化。

3.根据权利要求2所述的表面形状的测量方法，其特征在于，

使所述三个照射点在表面上的相对距离或者从所述预定点至各个所述照射点的距离变化。

4.根据权利要求3所述的表面形状的测量方法，其特征在于，

根据测量出的膜的表面或者基板的表面的翘曲，使所述距离变化。

5.根据权利要求3所述的表面形状的测量方法，其特征在于，

根据测量出的膜的表面或者基板的表面的曲率，使所述距离变化。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的表面形状的测量方法，其特征在于，

通过控制所述反射镜的角度，使朝向所述预定点的入射角度变化，通过所述光位置传感器能够接收从所述三个照射点反射的所有所述激光。

7.根据权利要求6所述的表面形状的测量方法，其特征在于，

通过2个反射镜使激光朝向膜的表面，通过第1反射镜向所述预定点的周围的三个照射点提供激光，通过第2反射镜使朝向所述预定点的入射角度变化。

8.一种表面形状的测量装置，测量在腔室内在基板的表面生长的膜的表面形状，其特征在于，设置有：

发光装置，提供单一的激光；

反射镜，朝向所述膜的表面反射所述激光；以及

驱动部，使所述反射镜的反射方向变化，

使所述反射镜的角度连续性地或者间歇性地三维地变化，通过所述反射镜，将单一的激光一边改变其入射方向一边提供给膜的表面或者所述基板的表面的预定点的周围的三个照射点，该三个照射点是在所述膜的表面或者所述基板的表面上形成的、在其内侧包括所述预定点的三角形的顶点，

设置有光位置传感器，所述光位置传感器配置于从各个所述照射点反射的激光的光路上，通过所述光位置传感器检测激光的反射方向，根据所述反射方向，计算所述三个照射点的各个照射点处的所述表面的倾斜以及包括所述预定点以及所述三个照射点的区域内的所述表面的翘曲。

9.根据权利要求8所述的表面形状的测量装置，其特征在于，

通过高速地控制所述激光的照射定时和所述反射镜的反射角度，使所述三个照射点在表面上的相对距离或者从所述预定点至各个所述照射点的距离变化。

10.根据权利要求9所述的表面形状的测量装置，其特征在于，

根据测量出的膜的表面或者基板的表面的翘曲、或者根据所述表面的曲率，使所述距离变化。