[发明专利]具有可配置喷嘴的线性电离棒有效
申请号: | 201480078585.7 | 申请日: | 2014-11-19 |
公开(公告)号: | CN106256057B | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 阿列克谢·克洛奇科夫;彼得·格夫特;史蒂文·伯纳德·海曼 | 申请(专利权)人: | 伊利诺斯工具制品有限公司 |
主分类号: | H01T23/00 | 分类号: | H01T23/00 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所31259 | 代理人: | 脱颖 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 配置 喷嘴 线性 电离 | ||
1.一种用于将电荷载子输送到电荷中和目标的线性电离棒,包括:
至少一个限定轴线的线性离子发射器,用于响应于其对电离电压的接收而沿着所述线性离子发射器的长度建立电荷载子的离子云,所述离子云具有带有外周边边界的等离子体区域;
参考电极,其响应于非电离电压的接收而在所述离子云内呈现非电离电场,所述非电离电场推进离子离开所述等离子体区域;以及
气体流动歧管,其从源接收气体并且具有多个歧管孔,其中多个插入件被接收在所述歧管孔内,至少一些所述插入件具有至少一个喷嘴孔,所述气体能够穿过所述至少一个喷嘴孔而离开所述歧管,以因此按可配置的电离气体流动模式引导离子远离所述线性离子发射器并朝向所述电荷中和目标,其中至少一些所述插入件是可移除的以使得所述电离气体流动模式是可重新配置的。
2.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中一些所述插入件是可移除的,并且限定所述气体可穿过其中流动的一个喷嘴孔,并且其中一些所述插入件不限定所述气体可穿过其中流动的任何喷嘴孔。
3.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述插入件限定所述气体可穿过其中流动的两个偏心喷嘴孔,其中所述至少一个所述插入件具有至少实质上圆形的周边,并且其中所述至少一个所述插入件能够在将其接收在内的所述歧管孔中旋转以改变所述两个偏心喷嘴孔相对于所述线性离子发射器的位置。
4.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中所述歧管还包括限定所述孔的板,其中所述插入件由具有低于形成所述限定孔的板的材料的弹性模量的材料形成,并且其中所述歧管内的气体压力使所述插入件变形,以因此密封在所述插入件与接收其在内的所述限定孔的板之间的界面。
5.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述插入件限定所述气体可穿过其中流动的一个偏心喷嘴孔,其中所述至少一个所述插入件具有至少实质上圆形的周边,并且其中所述至少一个所述插入件可在接收其在内的所述歧管孔中旋转以改变所述偏心喷嘴孔相对于所述线性离子发射器的位置。
6.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述插入件限定所述气体可穿过其中流动的至少一个偏心喷嘴孔,并且其中所述至少一个所述插入件可在接收其在内的所述歧管孔中旋转以改变所述至少一个偏心喷嘴孔相对于所述线性离子发射器的位置,以引导气体流动与所述离子云相切。
7.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述插入件限定所述气体可穿过其中流动的至少一个偏心喷嘴孔,其中所述至少一个所述插入件可在有限数量的分离的且成角度地偏置的位置之间在将所述至少一个所述插入件接收在其中的所述歧管孔中旋转以改变所述至少一个偏心喷嘴孔相对于所述线性离子发射器的位置。
8.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述插入件限定所述气体能够穿过其中流动的喷嘴孔,并且其中所述喷嘴孔从入口端到相对的出口端向内渐缩。
9.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述歧管孔限定轴线,并且被接收在其中的所述插入件具有相对于所述歧管孔轴线成角度的喷嘴孔。
10.根据权利要求9所述的线性电离棒,其中所述插入件整体形成,并且还包括示出所述喷嘴孔相对于所述歧管孔轴线的方向的视觉指示器。
11.根据权利要求1所述的线性电离棒,其中至少一个所述歧管孔限定轴线,并且被接收在其中的所述插入件具有相对于所述歧管孔轴线成角度的喷嘴孔,其中所述喷嘴孔具有出口端,并且所述插入件还包括围绕所述喷嘴孔的所述出口端并垂直于所述出口端的平坦表面。
12.一种用于将电荷载子输送到电荷中和目标的可重新配置的电离棒,包括:
至少一个离子发射器,用于响应于电离电压到所述至少一个离子发射器的施加而建立电荷载子的离子云;
参考电极,其响应于施加到所述参考电极的非电离电压的接收而在所述离子云内呈现非电离电场,所述非电离电场推进离子远离所述离子发射器移动;以及
歧管,其接收加压气体,并且具有多个歧管孔,其中多个可移除插入件被接收在所述歧管孔内,至少一些所述可移除插入件具有多个气体流中的一个可穿过其中流动的至少一个喷嘴孔,并且所述多个可移除插入件被共同配置成按可重新配置的电离气体流动模式引导离子远离所述离子发射器并朝向所述电荷中和目标。
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