[发明专利]用于化学机械平坦化的金属氧化物-聚合物复合颗粒有效
| 申请号： | 201480076145.8 | 申请日： | 2014-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN106103615B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | B.G.普雷沃;M.J.汉普登-史密斯;D.福米特切夫;Y.E.库特索夫斯基 | 申请（专利权）人： | 卡博特公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/304;C09G1/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;邢岳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 平坦 金属 氧化物 聚合物 复合 颗粒 | ||
【权利要求书】：
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