[发明专利]可安装于存储介质处理工具中的蚀刻源有效
| 申请号： | 201480072744.2 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN106103791B | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 塞缪尔·刘易斯·唐纳卡;托马斯·拉森·格林伯格 | 申请（专利权）人： | 希捷科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 杨娟奕 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 安装 存储 介质 处理 工具 中的 蚀刻 | ||
【说明书】：
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