[发明专利]旋转机构、机床以及半导体制造装置在审
| 申请号： | 201480067249.2 | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN105814347A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 中村刚 | 申请（专利权）人： | 日本精工株式会社 |
| 主分类号： | F16J15/40 | 分类号： | F16J15/40;B23Q11/00;F16C19/06;F16C37/00;F16C39/04;H01L21/683;H02K5/16 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 王金双 |
| 地址： | 日本国东*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 机构 机床 以及 半导体 制造 装置 | ||
【说明书】：
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