[发明专利]微光刻投射曝光设备的照明系统

权利要求书

1.一种微光刻投射曝光设备(10)的照明系统，包含：

a)光瞳平面(76)；

b)掩模平面(88)，其中能够布置要由投射光照明的掩模(16)；

c)光学积分器(60)，配置成产生定位于所述光瞳平面(76)中的多个第二光源(106)，其中所述光学积分器(60)包含多个光进入分面(75)，所述多个光进入分面中的每一个与所述第二光源(106)之一关联，并且其中所述光进入分面的像至少基本上在所述掩模平面内重叠；

d)空间光调制器(52)，具有光离开表面(57)并且配置成以空间解析方式透射或反射照射的投射光；

e)光瞳形成单元(36)，配置成引导投射光至所述空间光调制器上；

f)物镜(58)，将所述空间光调制器(52)的光离开表面(57)成像于所述光学积分器(60)的光进入分面(75)上，使得所述光离开表面(57)上物体区域(110)的像(110′)与所述光进入分面(75)中的一个光进入分面完全重合；

g)控制单元(90)，配置成控制所述光瞳形成单元(36)以及所述空间光调制器(52)，使得所述物体区域(110)由所述光瞳形成单元(36)完全照明，并且至少部分且可变地防止与所述物体区域(110)中的点关联的投射光照射至所述光进入分面(75)中的所述一个光进入分面上。

2.如权利要求1的照明系统，其中，所述光瞳形成单元(36)包含第一反射或透明光束偏转元件(40)的第一光束偏转阵列(38)，其中每一个光束偏转元件(40)配置成照明所述空间光调制器(52)上的斑点(94)，所述斑点位于通过改变所述光束偏转元件(40)所产生的偏转角而可变的位置。

3.如权利要求1或2的照明系统，其中，所述空间光调制器(52)包含第二反射或透明光束偏转元件(56)的第二光束偏转阵列(54)，其中每一个第二光束偏转元件(56)能够处于“开启”状态和“关闭”状态，所述每一个第二光束偏转元件在该“开启”状态引导照射光朝向所述光学积分器(60)，并且在该“关闭”状态引导照射光至别处。

4.如权利要求3的照明系统，其中，所述第二光束偏转阵列(54)为数字反射镜装置。

5.如权利要求3的照明系统，其中，至少10个第二光束偏转元件(56)布置在所述物体区域(110)中。

6.如权利要求3的照明系统，其中，布置在所述物体区域(110)中的相邻第二光束偏转元件(56)的中央沿着直线对齐，并且其中所述直线的像(116)与所述光进入分面(75)中的所述一个光进入分面的边界线形成角α，其中α与m·45°不同，而m＝0、1、2、3、......。

7.如权利要求6的照明系统，其中，所述第二光束偏转元件(56)的边界布置在第一矩形栅格内、所述光进入分面(75)的边界布置在第二矩形栅格内，并且其中所述第一矩形栅格在所述光进入分面(75)上形成的像(114)与所述第二矩形栅格形成所述角α。

8.如权利要求3的照明系统，其中，所述物体区域(110)沿着第一方向(X)的长度大于所述物体区域沿着第二方向(Y)的长度，所述第二方向与所述第一方向垂直，并且其中所述物镜(58)为变形物镜，其具有放大率M，|M|沿着所述第一方向(X)时小于沿着所述第二方向(Y)时。

9.如权利要求8的照明系统，其中，所述第二方向对应至扫描方向(Y)，所述掩模(16)在由所述照明系统(12)照明时沿所述扫描方向移动。

10.如权利要求3的照明系统，其中，所述第二光束偏转元件(56)布置在所述物镜(58)的与其中布置所述光进入分面(75)的平面平行的物平面中，并且其中所述第二光束偏转元件(56)在所述“开启”状态产生照射光非零的偏转角。