[发明专利]使用侧壁横梁制造技术的微机械柔性设计

权利要求书

1.一种机电装置，其包括：

微机电系统MEMS挠曲部(400)，其具有：第一横梁(412)；及实质上平行于所述 第一横梁(412)定位的第二横梁(418)，所述第一横梁(412)和第二横梁(418)在第一方 向上延伸；以及位于所述第一横梁(412)的第一末端且将所述第一横梁(412)耦接至 所述第二横梁(418)的铰链(402)，所述铰链(402)具有：

在第二方向上延伸且横向于所述第一及第二横梁的第一铰链横梁(414)；以及

在第一方向上耦接至第一铰链横梁(412)的加强部分(404)，所述加强部分 (404)包含在实质上平行于第一平面的平面中延伸的二维表面。

2.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述加强部分的横截面为可变的。

3.根据权利要求2所述的机电装置，其中所述加强部分在z方向上凹进。

4.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述加强部分的块状物通过z方向变化。

5.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述第一横梁耦接至锚，且其中所述锚附接 至衬底。

6.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述第二横梁耦接至光调制器。

7.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述铰链进一步包含耦接至所述加强部分的 四段部分。

8.根据权利要求1所述的机电装置，其进一步包括将所述第二横梁耦接至第三横梁的 第二铰链。

9.根据权利要求1所述的机电装置，其中所述第一方向对应于x方向，所述第二方向 对应于y方向，且所述第一平面对应于xy平面。

10.一种机电装置，其包括：

锚(702)，其耦接至衬底；

第一横梁(706)，其在第一方向上延伸且耦接至所述锚(702)；

第二横梁(710)，其在第二方向上延伸且耦接至第一横梁(706)；以及

第三横梁(726)，其在所述第一方向上延伸且在所述第二横梁(710)与光调制器 (716)之间耦接，其中所述第一横梁(706)、所述第二横梁(710)和所述第三横梁(726) 中的至少一者耦接至加强部分(724)。

11.根据权利要求10所述的机电装置，其中所述加强部分的横截面为可变的。

12.根据权利要求11所述的机电装置，其中所述加强部分在z方向上凹进。

13.根据权利要求12所述的机电装置，其中所述加强部分的块状物通过z方向变化。

14.根据权利要求10所述的机电装置，其中所述加强部分耦接至所述锚。

15.根据权利要求10所述的机电装置，其中所述加强部分耦接至所述光调制器。

16.根据权利要求10所述的机电装置，其中所述光调制器在所述第一方向上且实质上 平行于所述衬底移动。

17.一种机电装置，其包括：

锚装置，其耦接至衬底装置；

第一横梁装置，其在第一方向上延伸且耦接至所述锚装置；

第二横梁装置，其在第二方向上延伸且耦接至所述第一横梁装置；以及

第三横梁装置，其在所述第一方向上延伸且在所述第二横梁装置与光调制器装置 之间耦接，其中所述第一横梁装置、所述第二横梁装置和所述第三横梁装置中的至 少一者耦接至加强装置。

18.根据权利要求17所述的机电装置，其中所述加强装置的横截面为可变的。

19.根据权利要求18所述的机电装置，其中所述加强装置在z方向上凹进。

20.根据权利要求19所述的机电装置，其中所述加强装置的块状物通过z方向变化。