[发明专利]碳纳米管的制造方法

权利要求书

1.一种碳纳米管的制造方法，其是使碳纳米管在表面负载有催化剂的基材上生长的方法，其中，该制造方法包括：

生长工序，向送入到生长炉内的所述基材的所述催化剂供给碳纳米管的原料气体，并且对所述催化剂及所述原料气体中的至少一者进行加热，使碳纳米管在所述基材上生长；和

清洁工序，向所述生长炉内供给包含水的清洁气体，对所述生长炉内进行清洁，

在将所述生长炉内的气体中的氢气的浓度设为[H₂]、二氧化碳的浓度设为[CO₂]、一氧化碳的浓度设为[CO]时，在所述清洁工序中，对所述生长炉内进行清洁、使得满足下述式(1)：

0.7≤{(2[CO₂]+[CO])/[H₂]}≤1.3···(1)。

2.根据权利要求1所述的碳纳米管的制造方法，在所述清洁工序中，对所述生长炉内进行清洁、使得满足下述式(2)：

0＜([CO]/[CO₂])≤10···(2)。

3.根据权利要求1所述的碳纳米管的制造方法，其中，所述生长炉的至少一部分包含金属。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的碳纳米管的制造方法，其中，所述清洁工序包含对所述生长炉内的(2[CO₂]+[CO])/[H₂]进行监测。

5.根据权利要求2所述的碳纳米管的制造方法，其中，所述清洁工序包含对所述生长炉内的[CO]/[CO₂]进行监测。

6.根据权利要求1所述的碳纳米管的制造方法，其中，在所述生长工序中，向所述基材的所述催化剂除了供给所述原料气体以外还供给催化剂活化物质。