[发明专利]辐射检测器及制造它的方法

说明书

根据本发明一实施例的辐射检测器具有：阵列基板，其具有光电转换元件；闪烁体层，其形成在该光电转换元件上且将辐射转换为荧光；防湿层，其具有平滑层和水蒸气阻隔层，该平滑层是形成为覆盖该闪烁体层的连续膜且至少包含有机树脂材料作为主成份，该水蒸气阻隔层是直接形成在该平滑层的表面上的连续膜且包含无机材料。

技术领域

本发明总地涉及辐射检测器及制造它的方法。

背景技术

基于有源矩阵的平面型X射线检测器已经发展为新一代X射线诊断检测器。通过检测应用于此X射线检测器的X射线，经X射线成像的图像或实时的X射线图像被输出为数字信号。在X射线检测器中，X射线被闪烁体(scintillator)层转换为可见光，即荧光，而该荧光被光电转换元件(诸如非晶硅(a-Si)光电二极管或CCD(电荷耦合器件))转换为信号负荷，由此获取图像。

该闪烁体层的材料总地包括碘化铯(CsI):钠(Na),碘化铯(CsI):铊(Tl),碘化钠(NaI),或硫氧化钆(Gd₂O₂S)。Gd₂O₂S通过将烧结体(sintered body)的粉末与粘合剂树脂(binder resin)混合和涂敷膜而形成，或者用作整合式烧结体。通过切割等在这些涂敷的膜或烧结体上形成槽(groove)来构想改进分辨率的方法。可通过使柱状结构由真空沉积而形成来改进CsI:Tl膜和CsI:Na膜的分辨率特性。闪烁体的材料包括以上所述的多种类型并且根据应用和必要特性来不同地使用。

反射膜可被形成在闪烁体层的上部以增大荧光的利用效率并改进灵敏度特性。即，通过该反射膜将从闪烁体层发射的荧光之中朝向与光电转换器侧相反的一侧的荧光反射来增大进入光电转换器侧的荧光。

作为反射膜的示例，在闪烁体层上形成具有高荧光反射率的金属层(诸如银合金和铝)的方法，以及通过应用由粘合剂树脂与光散射基板(诸如TiO₂)制成的光散射反射性的反射膜来形成的方法是已知的。通过使具有金属表面的反射板粘附到闪烁体层而不是形成在该闪烁体膜上来反射闪烁体光的方法也投入实际使用。

通过保护闪烁体层、反射层或反射板等免受外部大气的影响而抑制由于潮湿等使特性变差的防湿结构是使检测器为实用产品的重要构成特征。具体地，在作为对于潮湿而高度降解的材料的CsI:Tl膜和CsI:Na膜被用作闪烁体层的情况下，需要高防湿的性能。

防湿结构包括使用聚对苯二甲撑(polyparaxylylene)的CVD膜或用包围部件围绕闪烁体的周围的结构以通过与防湿层等结合来密封的方法。作为能够获得更高的防湿性能的结构，已知将具有优秀防湿性能的铝箔等处理为帽形，该帽形包括闪烁体层且利用接合层在闪烁体的边缘密封。

引用列表

专利文献

专利文献1：美国专利No.6262422说明书

专利文献2：JP H5-242847 A(Kokai)

专利文献3：JP 2009-128023 A(Kokai)

发明内容

[技术问题]

在聚对苯二甲撑CVD膜用作保护闪烁体层等的防湿结构的情况下，至少在实用的膜厚度范围(例如，大约20μm)中，水蒸汽阻隔属性通常是不足的。作为特定示例，对于防湿性能的确认，实验上使用CsI:Tl膜(膜厚度600μm)作为玻璃基板上的闪烁体膜而聚对苯二甲撑CVD膜(20μm)作为防湿层来产生样本，以及研究亮度和分辨率在高温度和高湿度测试中的变化的结果在下文中总地描述。