[发明专利]可调谐激光器阵列系统

权利要求书

1.一种用于扫频源光学相干层析成像的系统,包括在全波长范围发射多路复用的波长扫描辐射的光源，所述光源包括：发射具有N个波长轨迹的N个可调谐垂直腔激光器光输出（115）的N个波长扫描垂直腔激光器（100），其中N大于1；用于汇合所述N个可调谐垂直腔激光器光输出到共用的光路中以创建多路复用的波长扫描辐射的整合器（110）；用于分离所述多路复用的波长扫描辐射至样品（150）和参考路径（140）的分离器；用于探测由所述样品的反射和穿过所述参考路径的光之间的光学干涉所产生的干涉信号的光探测器（170）；以及使用所述干涉信号构造所述样品的图像的信号处理系统（190），其中，由波长重复频率、波长扫描速度、相位转换以及波长调谐范围组成的组中的至少一个参数使得所述N个波长轨迹中的至少一个不同于所述N个波长轨迹中的另一个，其中所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个为通过电压源调谐的MEMS-VCL，并且所述用于扫频源光学相干层析成像的系统还包括具有第一机械共振频率的第一MEMS-VCL和具有不同于所述第一机械共振频率的第二机械共振频率的第二MEMS-VCL，不同的波长扫描垂直腔激光器具有不同机械共振以实现连同可变的扫描速率用于所述用于扫频源光学相干层析成像的系统中两种不同成像距离的低电压以及共振操作。

2.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个是电泵浦的。

3.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个是光泵浦的。

4.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个具有集成的垂直腔激光器光泵。

5.根据权利要求3所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中使用单个光泵以泵浦全部所述N个波长扫描垂直腔激光器。

6.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中使用单个光放大器放大波长扫描辐射。

7.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，每个波长扫描垂直腔激光器与光放大器单片集成。

8.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中全部所述N个波长扫描垂直腔激光器单片集成于同一衬底上。

9.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中在任何一个时间点上，所述N个可调谐垂直腔激光器光输出中只有一个被开启。

10.根据权利要求9所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个是电泵浦的，通过电泵浦驱动电流控制所述N个可调谐垂直腔激光器光输出中的每一个的开启和关闭。

11.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个以不同的波长重复频率重复扫描。

12.根据权利要求1所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中所述N个波长扫描垂直腔激光器中的每一个以不同的波长带宽扫描。

13.根据权利要求12所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中以更小的波长带宽扫描的波长扫描垂直腔激光器用于更长距离成像，以更大的波长带宽扫描的波长扫描垂直腔激光器用于更短距离成像。

14.根据权利要求11所述的用于扫频源光学相干层析成像的系统，其中以更慢的波长重复频率扫描的波长扫描垂直腔激光器用于更长距离成像，以更快的波长重复频率扫描的波长扫描垂直腔激光器用于更短距离成像。