[发明专利]低静电放电熔合拉制玻璃的表面处理

说明书

优先权

本申请根据35U.S.C.§119要求2013年4月30日提交的美国临时申请序列第61/817518号的优先权，本申请以其内容为基础，并通过参考将其全文纳入本文。

背景

领域

本说明书总体涉及玻璃表面的表面处理，更具体地涉及策略性地纹理化(texturing)玻璃板的b侧而不破坏玻璃板a侧性能特点的方法。

技术背景

可用于薄膜晶体管(TFT)-液晶显示器(LCD)基片的平板显示器(FPD)玻璃可由两侧组成。第一侧可以是其上构建有TFT的功能侧(a侧)，而第二侧可以是非功能背侧(b侧)。以前关注的是FPD的a侧，因为通过大面积沉积形成TFT结构可能对表面连续性敏感。FPD玻璃的b侧可能接触许多材料，例如塑料、橡胶或陶瓷，因此，b侧表面的表面质量和均匀性不需要像a侧表面那样高。然而，在加工过程中，FPD玻璃与各种各样的这些其他材料之间的接触可能造成摩擦生电。例如，基于两种不相似的材料的费米能级，由于其固有功函值或者转移电荷的能力的差异，它们可能因接触分离而带电。表面上积累的电荷越多，表面电压越高。此外，当两个带电荷的表面分开时，电容随着分开距离的增大而减小，这可能导致更高的表面电压。在TFT-LCD制造过程中，玻璃的接触分离是不可避免的。这些高电压可能破坏FPD玻璃的a侧表面上沉积的TFT结构。

因此，需要降低玻璃表面上总电荷积累。

概述

根据一个实施方式，本发明揭示了一种改进玻璃板的静电放电性质的方法，该方法包括用增加平均表面粗糙度的处理液处理玻璃板的至少一侧，然后清除处理液。所述玻璃板的经过处理的至少一侧的平均表面粗糙度可约为0.3-100nm。处理前的玻璃板与处理后的玻璃板之间电压的下降百分数可约为1.5％-40％。

在其他实施方式中，本发明提供了一种玻璃板，其第一侧的平均表面粗糙度约为0.3-100nm，第二侧的平均表面粗糙度约为0.1-100nm。玻璃板可具有至少约100mm的长度和小于约1.0mm的厚度。

在其他实施方式中，根据2x2μm原子力显微镜(AFM)扫描，玻璃板可包括表面粗糙度约为0.2nm甚至约为0.15nm的一侧，以及表面粗糙度约为0.3-1.3nm的另一侧。根据一些实施方式，0.2nm可定义为Ra或Rq，如通过AFM测量方法所确定。Ra和Rq可用方程式(1)和(2)表示：

Rq=1nΣi=1n(zi-z‾)2---(1)]]>

Ra=1nΣi=1n|zi-z‾|---(2)]]>